一、采购人：清华大学

二、地址：北京市海淀区清华园

三、联系方式：王琦sbcwq@tsinghua.edu.cn

四、项目名称：3D测量激光显微镜采购项目

项目编号：清设招第20221295号

五、采购内容：3D测量激光显微镜

六、采用单一来源采购方式原因及说明

经过市场调研，只有奥林巴斯3D测量激光显微镜OLS5100才能满足关键参

数的要求，奥林巴斯3D测量激光显微镜OLS5100参数如下：1）X/Y分辨率

0.12μm，Z轴分辨率6nm；2）测量准确性：XY方向：测量值的±1.5%以内，Z

方向：0.15＋L/100μm以内；3）平面测量重复性：5X:0.4μm,10X:

0.2μm,20x:0.05μm,50X:0.04μm,100X:0.02μm；4）高度测量

重复性：5X:0.45μm,10X:0.1μm,20X:0.03μm,50X:0.012μm,

100X:0.012μm；5）采用了双共焦系统，可以得到倾角87.5°的图像；6）

激光光源符合class2的国际标准，激光光源0.95mw。综上所述，奥林巴斯

OLS5100符合项目要求，故采用单一来源采购方式进行。北京元中锐科集成检

测技术有限公司是其指定代理商。

七、基本配置和技术要求：

1.采用激光双共聚焦光路，光源为405纳米波长半导体激光,光源功率安

全等级CLASS2；

2.XY水平分辨率可达到0.12μm；

3.放大倍率110x-17000x；

4.电动载物台，X/Y行程范围100mmX95mm；

5.Z轴最大试样空间大于90mm；

6.具备测量粗糙度功能，可进行线粗糙度、面粗糙度的功能同时还可以

进行弧面的粗糙度测量；

7.6孔电动物镜转换配置物镜5x，10X，20×，50×，100×，长焦50×

其中20×，50×，100×，长焦50×为特制激光共聚焦专用物镜；5×物镜数值

孔径0.15，工作距离20mm；10×物镜数值孔径0.3，工作距离10.4mm；20×

物镜数值孔径0.6，工作距离1mm；50×物镜数值孔径0.95，工作距离

0.35mm；100×物镜数值孔径0.95，工作距离0.35mm；长焦50×物镜数值孔径

0.6，工作距离5.2mm；

8.软件模块与功能

可一键获取2D及3D图像，具备宏观地图索引功能；进行2D及3D大尺寸拼

图。通过在平面方向拼接数据方式可获得高达3600万像素宽市场的精确数据；

可获取长度、角度、面积、体积、周长、弧角、弧长、差异分析等数据测量，

且测量数据可随时复制到其他制表文件中；可按照国际标准的粗糙度模式进行

准确及专业的粗糙度分析，粗糙度测量为非接触式，无损，快速，可实现

100mm长范围的线粗糙度测量；

9.操作软件语言：中文、英文、日文、德文、和韩文五种语言；

八、供应商：EVIDENTCorporationShinjukuMonolith

地址：3-1Nishi-Shinjuku2-chome,Shinjuku-ku,Tokyo,Japan

授权代理商：北京元中锐科集成检测技术有限公司

九、征求意见期限从2022年12月1日至2022年12月6日止。十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后1个工作日内将书面意见（包括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明）反馈至清华大学（联系人：王琦62771946，邮箱：sbcwq@tsinghua.edu.cn）。