2.1 真空腔体： 2.1.1 真空腔体 腔体、管道和所有法兰均采用SUS304 不锈钢焊接，腔体内部设 计一套防污板，腔体外形直径360*H450MM; 2.1.2 腔门 手动前开门结构，在腔门上设计一个直径100mm 的观察窗，观 察窗带挡板。 2.1.3 功能模块 1、真空腔底部设计4 组电极杆，电极杆之间间距80mm 2、腔体侧壁安装真空计探头和预留法兰接口，腔体顶部采 用模块接口， 3、样品台法兰尺寸为ISO250， 4、腔体上设计一个照明（24V）。 2.2 真空系统组成及技术指标 2.2.1 真空系统获得及泵配置 抽速：620L/S 口径：DN160 机械泵：鲍斯 抽速：4L/S 主阀：国产气动插板阀 口径：DN160 漏率：<1.0*10-9Pa.m3/S 安装方式：ISO160 放气阀：电磁充气阀 真空测量：成都睿宝 1 底1 高复合真空计（1 个电阻规和1 个电离规） 2.2.2 样品台 样品台最大装载样品4in，样品旋转0-20r 可调，手动升降调节 蒸基距，最大升降行程80mm,带一个电动样品台挡板，样品台可方便 拆卸，法兰接口ISO250。 2.2.3 膜厚监

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