项目名称	金属有机化学气相沉积设备升级	项目编号	JJ2024000071
公告开始日期	2024-06-12 06:27:46	公告截止日期	2024-06-15 08:00:00
采购单位	福州大学	付款方式	内贸：全部货物交货并最终验收合格后，乙方向甲方提供全额的正式发票（10万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票），甲方凭验收合格材料向乙方支付100%的合同款。
联系人	成交后在我参与的项目中查看	联系电话	成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后3个工作日内	到货时间要求	内贸：合同签订后15个工作日内
预算总价	￥ 280000.00 + NaN + NaN
发票要求	增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址	晋江科教园308
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明

采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
金属有机化学气相沉积设备升级	1	批	电子工业生产设备 无 无

品牌 品牌1	青岛林科紫外
型号	定制
品牌2
型号
品牌3
型号
品牌4
型号
品牌5
型号
品牌6
型号
预算单价	￥ 280000.00
技术参数及配置要求	1. 反应室的改造： 需要将顶部的喷淋头与石墨基座的距离由目前的273mm,修改为30 mm。 主要部件： （1） 拆除旧反应器，安装新设计制作的反应器。 （2） 顶部气室，需要重新设计制造和加工。 （3） 喷淋头，重新设计，加工。 （4） 重新设计定制石英管2件。 （5） 外有机玻璃管需重新设计和加工。 （6） 上下铝环，重新设计加工。 （7） 连接顶部气室的进气管道改造。 （8） 顶部气室（包括喷淋头，两路进气管道改造）1套 。 （9） 喷淋头的水冷需重新设计，加工。 2. 反应气路的改造： 1) 更换若干个专用反应室MKS压力控制器。 2) 更换并修改氧化镓专用的质量流量控制器MFC和压力控制器PC（都是美国Brooks的产品），并进一步检修调试，调试控制部分PLC模块，接线，控制程序等。 3) 将原有NH3、H3质量流量控制器MFC和压力控制器PC升级成氧气、笑气专用的MFC和PC。 4) 更换专用热电偶和专用插座。 5) 更换自动温控器。 6) 根据工艺要求，将O2和Ar气路进行互调。 7) 将氨气纯化器移到O2进气气路。 8) 添加恒温水浴和4个MO源，将4个MO源接入系统，检漏并清洗。 3. 耐高温、抗氧化配件升级 1) 样品石墨托更换成具有碳化硅涂层的石墨托。 2) 加热支撑件升级成耐氧化高温钢。 3) 加热器高温隔氧保护。 4) 将原有NH3、H3纯化器改造成O2、N2O纯化器（纯度7N）。
参考链接
售后服务	质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:当地;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;

福州大学
2024-06-12 06:27:46

相关附件：

MOCVD升级设备价格清单.docx