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金属有机化学气相沉积设备升级
"金属有机化学气相沉积设备升级"标讯
中标
金属有机化学气相沉积设备升级（JJ2024000071）成交结果公告
金额
27.9万元
项目地址
福建省
发布时间
2024/06/19
招标产品
设备升级
招标公司
福州大学
中标公司
衢州致善微电子技术有限公司
招标
金属有机化学气相沉积设备升级（JJ2024000071）采购公告
金额
28万元
项目地址
福建省
发布时间
2024/06/12
招标产品
金属有机化学气相沉积设备升级
反应室的改造
反应器
连接顶部气室的进气管道改造
喷淋头的水冷
石英管
外有机玻璃管
上下铝环
反应气路的改造
反应室MKS压力控制器
质量流量控制器
检修调试
PLC模块
接线
控制程序
专用热电偶
自动温控器
O2和Ar气路进行互调
氨气纯化器
恒温水浴
招标公司
福州大学
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