招标
沈阳仪表科学研究院有限公司感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机）设备采购招标公告
金额
200万元
项目地址
辽宁省
发布时间
2022/11/28
公告摘要
项目编号xdzh-2022ybhw-07
预算金额200万元
招标公司沈阳仪表科学研究院有限公司
招标联系人潘浩
招标代理机构北京兴电国际工程管理有限公司
代理联系人尹洪伟18525035687
标书截止时间2022/12/02
投标截止时间2022/12/19
公告正文
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沈阳仪表科学研究院有限公司感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机设备采购
招标公告
（招标编号：XDZH-2022YBHW-07）
项目所在地区：辽宁省
一、招标条件
本沈阳仪表科学研究院有限公司感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机）设备采
购已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为其他资金企业资本金，
招标人为沈阳仪表科学研究院有限公司。本项目已具备招标条件，现招标方式
为公开招标。
二、项目概况和招标范围
规模：见附件
范围：本招标项目划分为1个标段，本次招标为其中的
（001）感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机）；
三、投标人资格要求
（001感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机））的投标人资格能力要求：见附件：
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间：从2022年11月28日09时00分到2022年12月02日16时00分
获取方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务大厦1705室
现场领购或通过电子邮件xdgj_ybyeycah.net提交资格文件和获取招标文件。
五、投标文件的递交
递交截止时间：2022年12月19日09时30分
递交方式：沈阳市皇姑区昆山中路2号万众商务大度纸质文件递交
六、开标时间及地点
开标时间：2022年12月19日09时30分
开标地点：沈阳市皇姑区昆山中路2号万众商务大厦
七、其他
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见附件
八、监督部门
本招标项目的监督部门为沈阳仪表科学研究院有限公司。
九、联系方式
招标人：沈阳仪表科学研究院有限公司
地址：沈阳市大东区北海街242号
联系人：潘浩
电话：024-82240270
电子邮件：/
招标代理机构：北京兴电国际工程管理有限公司招标代理部
地址：沈阳市皇姑区昆山中路2号
联系人：尹洪伟
电话：18525035687
电子邮件：xdgj_ybyeyeah.net
（签名）
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）
招标人或其招标代理机构：
口
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感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机）设备采购招标公告
招标编号：XDZH-2022YBHW-07
1.招标条件
本招标项目为感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机设备购招标，招标人
为沈阳仪表科学研究院有限公司，为企业资本金项目。该项目已具备招标条件，
现对感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机）设备采购进行公开招标。
2.项目概况与招标范围
2.1招标内容：感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机）1台，最高限价200万元，
2.2
招标用途：基于感应耦合等离子体技术，专用于氟基气体干法刻蚀，主要刻蚀Si、SiO、S
iN、SiC、聚合物等材料。
2.3系统技术指标要求：
2.3.1带有load-lock双腔室
2.3.2连续作业模式，可满足以下要求之一
（1）人工取放片，通过1oad-lock的真空-大气转换来实现连续生产
（2）自动取放片，通过robot机械手实现连续生产。
2.3.3刻蚀室均匀区内每炉样品数量：4英寸样品1片或6英寸样品1片
2.3.4Load-lock极限真空：优于6.7*10-1Pa
2.3.5
刻蚀室极限真空度：≤2×10-4Pa
2.3.6
若人工取放片，load-lock从大气抽到2Pa时间要求不超过2min
2.3.7系统漏率：≤5x10-7Pa·L/s
2.3.8静态升压：系统停泵关机12小时后，真空度≤5Pa
2.3.9刻蚀不均匀性：waferee8范围内的不均匀性≤±5%
2.3.10设备同时支持水冷及He背冷
2.3.11电源数量及功率
耦合极：不小于1000W，13.56MHz，国外优质射频电源，自动匹配器。
偏压极：不小于600w，13.56MHz，国外优质射频电源，自动匹配器。
2.3.12
真空获得系统的干泵、分子泵为带防腐涂层的，能长期工作在氟基腐蚀气体腐蚀环境
中，并采用国际知名品牌。
2.3.13工艺气路系统：不少于6路，SF6、CHF3、CF4、02、Ar、He。
2.3.14配有自动压力控制系统，工作状态压力由薄膜规承担。
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2.3.15控制系统
（1）控制系统显示采用触换屏。
（2）控制方式分自动模式、手动模式和维护模式三种。自动模式下可完成全自动编
运行，手动模式可在安全互锁条件下操作。
（3）控制系统具有安全报警与互锁功能，可实现对设备误操作、水压，过载等进行报
警和保护；对不同操作级别人员能使用分级密码保护功能。
（4）可实现工艺参数自动记录与长期保存功能，并可通过通用接口输出。
（5）可实现设备维护维修诊断与提示。
2.3.16配置工作台水冷机、分子泵水冷机、空气压缩机，机械泵选择日本岩田、
爱德华或者浦发或者沈科仪
2.4交货时间应为签订合同后6.5个月内。
2.5质保期：不少于1年。
3.投标人资格要求
3.1投标单位应具有独立法人资格；
3.2
制造商应具有两年以上相关产品的生产经验：代理商参与投标，必须提供制造商
出具的授权函原件，应具有三年以上相关产品的生产销售经验
3.3
投标方必须由法定代表人或其委托代理人（具有法定代表人签署的授权书）参加
投标、议标，在评标过程中随时接受就招标文件内容提出的质询，并予以解答；
3.4本次招标不接受联合体投标。
4.招标文件的获取
4.1
发售时间：2022年11月28日至2022年12月2日，每天上午9:00至11:30时，下午1
3：30至16：00时（北京时间）.节假日除外。
4.2招标文件每套售价300元，售后不退。
4.3
招标文件购买方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务大厦1705
室现场领购或通过电子邮件xdgi_yby@yeah.net提交资格文件和获取招标文件。
5.投标文件的递交
5.1投标文件递交的截止时间为2022年12月19日9时30
分前递交至北京兴电国际工程管理有限公司会议室（地址：沈阳市皇姑区昆山中
路2号万众商务大厦）。
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5.2
逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标
人将予以拒收。
6.发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站（http://www.cebpubservice.com
）上发布，因轻信其他组织、个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人。招标
代理机构概不负责。
7.联系方式
招标人：沈阳仪表科学研究院有限公司
地址：沈阳市大东区北海街242号
联系人：潘浩
电话：024-8224027013478218777
招标代理机构：北京兴电国际工程管理有限公司
地址：沈阳市皇姑区昆山中路2号
联系人：尹洪伟
联系电话：18525035687
电子邮箱：xdgiyby@yeah.net
开户银行（人民币）：工行北京白云路支行
账户名称：北京兴电国际工程管理有限公司
账号：0200020009200017957
北京兴电国际工程管理有限公司
2022年11月28日
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联系我们
上海总部：上海市浦东新区中科路1750号1幢张江科学之门模力社区606-607室
无锡分公司：无锡市新吴区江溪路77号北航投资（无锡）科创中心303室
邮 箱：bd@datauseful.com
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