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load-lock双腔室
"load-lock双腔室"标讯
招标
沈阳仪表科学研究院有限公司感应耦合等离子体刻蚀机（ICP刻蚀机）设备采购招标公告
金额
200万元
项目地址
辽宁省
发布时间
2022/11/28
招标产品
偏压极
分子泵
感应耦合等离子体刻蚀机
自动取放片
刻蚀室
静态升压
He背冷
人工取放片
真空获得系统
连续生产
robot机械手
射频电源
工艺气路系统
load-lock双腔室
空气压缩机
分子泵水冷机
自动匹配器
招标公司
沈阳仪表科学研究院有限公司
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