采购项目名称：国产光刻机
采购项目编号：清设比选20231852号
对外联系人：封贝贝
联系电话：18810830359
采购单位：清华大学
物资名称：国产光刻机
采购数量：1
计量单位：台
单价：￥250000
技术参数及配置要求：设备应包括：曝光头系统、对准工件台、对准系统、电控系统、气动系统等。
1. 曝光头系统，应包括进口紫外LED光源模块，LED光源整形模块，XYZ光源位置调节台、光学系统以及冷却风扇。
2. 对准工作台应包括掩膜样片整体运动台、掩膜样片相对运动台、转动台、样片调平机构、基片抽拉式上下机构、样片调焦机构，以及承片台和掩膜夹。
3. 对准系统，包括光源、电源、成像变倍光管、CCD对准系统以及液晶显示器。
4. 电控系统，应包括单片机控制系统、紫外LED电源模块。
具体的技术参数要求如下：
(1). UV光源：进口LED模块；
(2). 曝光中心波长：365nm;
(3). 光源平行性： 2°；
(4). 曝光分辨率：0.8μm-1μm；
(5). 曝光能量密度：＞35mW/cm2可调；
(6). 曝光面积：160mm×160mm;
(7). 光源寿命：2万小时；
(8). 曝光头工作模式：曝光位对准位自动切换（前后移动）；
(9). 套准精度：±0.8μm~1μm；
(10). 掩模版找平方式：球气浮自动找平；
(11). 样片、掩模版相对移动范围：X: ±5mm, Y: ±5mm, θ=±6°；
(12). 最大可设计工作厚度：50mm;
(13). 对准系统：光学+CCD。
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