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成像变倍光管
"成像变倍光管"标讯
招标
国产光刻机（清设比选20231852号）采购公告
项目地址
北京市
发布时间
2023/11/22
招标产品
承片台
单片机控制系统
掩膜样片整体运动台
成像变倍光管
掩膜样片相对运动台
光学系统
进口紫外LED光源模块
球气浮自动找平
冷却风扇
液晶显示器
气动系统
对准工作台
掩模版
UV光源
CCD对准系统
XYZ光源位置调节台
掩膜夹
电控系统
LED光源整形模块
光刻机
基片抽拉式上下机构
样片调焦机构
样片调平机构
对准工件台
进口LED模块
紫外LED电源模块
转动台
曝光头系统
招标公司
清华大学
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