一、项目信息

采购人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院

项目名称：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院面向硅基光电异质集成关键技术开发采购项目

拟采购的货物或者服务的说明：

包号	采购内容	数量	基本情况	预算金额
1	面向硅基光电异质集成关键技术开发	1项	详见项目需求	300万元

拟采购的货物或服务的预算金额：300.0000000 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

（1） 本项目拟委托中国科学院微电子研究所进行面向硅基光电异质集成关键技术开发，具体内容如下: 1.开展硅基光电异质材料生长（V族和III-V族）和应变衬底制备技术研究； 2.开展光电异质集成高性能探测器、激光器、晶体管等器件研究，包含器件的设计，仿真，制备，测试等。

硅基光电异质集成关键技术应达到的指标及参数如下： 1.硅基异质Ge，GeSn，GeSi材料生长：表面缺陷密度为1E7 cm-2量级及以下，表面粗糙度小于1nm； 2.实现III-V异质外延材料和结构生长：表面无APD，缺陷密度为1E7 cm-2量级，表面粗糙度小于1nm ； 3.八英寸应变衬底研制：GeOI，GeSnOI，GeSiOI等应变衬底； 4.研制多类型IV族单管和阵列探测器：128*96面阵列，探测器面阵性能均匀性小于10%； 5.异质集成材料和器件仿真计算研究：器件仿真技术报告和软件使用； 6.论文和专利：发表论文2篇，申请发明专利4项。

经调研，本项目研究内容中的硅基异质材料外延生长、八寸应变衬底研制、光电异质集成器件需要建立材料外延生长、器件仿真、流片等全工艺流程验证，该流程包含对实际工业化生产经验的掌握、生产数据的处理与筛选、高效的工艺流程优化与验证等多个方面。中科院微电子研究所的研究团队通过以往的相关项目研发已经掌握了必备的生产经验、硅片数据的处理和筛选方法，能够提供面向硅基光电异质集成关键技术开发的服务。

相比于国内其他相关团队，中科院微电子研究所的优势体现在以下方面： 1.工业化的产线平台。中科院微电子研究所拥有一条完整的8吋集成电路先导工艺研发线，兼容硅基光子器件、硅基MEMS器件等集成技术研发，具备八英寸应变衬底研制、硅基异质材料生长、异质集成器件研制和测试的研发能力和量产技术。 2.深厚的技术积累。中科院微电子研究所核心团队来自世界著名的集成电路研发机构，拥有超过10年的研发和科研管理经验。在半导体材料外延生长方面具有国内领先的工艺能力，累积了丰富的经验，具备研发和优化硅基异质Ge，GeSn，GeSi材料、III-V异质材料的能力。在硅基器件仿真和研制方面，具备从仿真到流片到优化器件性能的研发能力。另外，其具有成熟的专利布局思路，已取得斐然的成果。

基于上述原因，且为进一步做好研发和试生产、生产的工作，满足采购方的需求，且目前国内无其他供应商能满足需求，本项目拟采用单一来源采购方式进行采购。

（2）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：

专家1：姓名刘喜荣工作单位北京市食品研究所职称 高工意见： 同意

专家2：姓名蒋秀高工作单位中国CDC传染病所职称研究员意见： 同意

专家3：姓名李雪红工作单位林业产业规划设计院职称 高工 意见： 同意

（3）专家小组综合意见：

该项目采购之面向硅基光电异质集成关键技术开发，经市场调研，满足采购人技术需求的供应商只有一家，为满足采购人的科研需求，建议使用单一来源采购方式进行。

二、拟定供应商信息

名称：中国科学院微电子研究所

地址：北京市朝阳区北土城西路3号

三、公示期限

2021年05月26日 至 2021年06月02日

四、其他补充事宜：

1. 合格的供应商：

1. 符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求”；
2. 在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；
3. 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；
4. 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；
5. 按本投标邀请的规定获取单一来源文件；
6. 本项目不接受联合体投标；
7. 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。

1. 单一来源采购文件下载地点：

地点：www.o-science.com

1. 单一来源采购项目响应文件递交时间及地点：

时间：2021年6月3日上午09:30（北京时间）

地点：广州市越秀区先烈中路100-67号楼14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座）

1. 单一来源采购协商时间及地点：

时间：2021年6月3日上午09:30（北京时间）

地点：广州市越秀区先烈中路100-67号楼14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座）

1. 采购代理机构名称：东方国际招标有限责任公司

详细地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室。

邮编：100081

联 系 人： 迟兆洋、张君仙

电 话：020-87001523

传 真：010-68290525

邮 箱：ytlin@oitc.com.cn

1. 采购单位联系方式：

采购单位：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院

采购单位地址：广东省广州市黄埔区开源大道136号A栋

采购单位联系方式：020-22324798

五、联系方式

1.采购人

联系人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院　　　　　

地址：广东省广州市黄埔区开源大道136号A栋　　　　　　　　

联系方式：020-22324798　　　　　　

2.财政部门

联系人：/

联系地址：/

联系电话：/

3.采购代理机构信息

名 称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室　　　　　　　　　　　　

联系方式：迟兆洋、张君仙 ytlin@oitc.com.cn