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硅基器件
"硅基器件"标讯
中标
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院面向硅基光电异质集成关键技术开发采购项目单一来源采购公示
项目地址
广东省
发布时间
2021/05/26
招标产品
GeSn
工艺流程优化
规范编制
8吋集成电路
八寸应变衬底
硅基异质Ge
光电异质集成器件
硅片数据的处理
优化器件
检测
流片
集成技术研发
监理
量产技术
硅基光电异质集成
半导体材料外延生长
器件仿真
实际工业化生产经验的掌握
硅基器件
生产数据的处理
GeSi材料
硅基异质材料
关键技术开发
硅基光子器件
全工艺流程验证
硅基MEMS器件
项目管理
III-V异质材料
八英寸应变衬底
测试
招标公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
中标公司
中国科学院微电子研究所
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