一、项目编号:OITC-G220290731-1(招标文件编号:OITC-G220290731-1)
二、项目名称:广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院化学机械抛光机采购项目(第二次)
三、中标(成交)信息
供应商名称:华海清科股份有限公司
供应商地址:天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
中标(成交)金额:1062.2000000(万元)
四、主要标的信息
序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
1 | 华海清科股份有限公司 | 化学机械抛光机 | Hwatsing | Universal-200 Smart | 1套 | / |
五、评审专家(单一来源采购人员)名单:
丘麒(专家组长)、毛瑞、张向云、余小林、梁今明、黄滨、刘光华(用户代表)
六、代理服务收费标准及金额:
本项目代理费收费标准:按照国家计委招标代理服务费暂行标准[2002]1980号文件中规定的货物采购收费比率下浮30%收取
本项目代理费总金额:7.1477000 万元(人民币)
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
包号 |
货物名称 |
数量 |
中标供应商 |
中标供应商地址 |
中标价格 |
1 |
化学机械抛光机 |
1套 |
华海清科股份有限公司 |
天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号 |
10622000元人民币 |
九、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
地址:广州市黄埔区开源大道136号D栋
联系方式:刘老师 020-28399525
2.采购代理机构信息
名 称:东方国际招标有限责任公司
地 址:北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层
联系方式:迟兆洋、张君仙 cjwang@oitc.com.cn
3.项目联系方式
项目联系人:迟兆洋、张君仙
电 话: 020-87001523
包号 | 采购内容 | 数量 | 是否允许采购进口产品 | 预算金额(万元) | 最高限价(万元) |
1 | 化学机械抛光机 | 1套 | 否 | 1400 | 1360 |
中标金额 (人民币) | 比率 |
100万元以下 | 1.5% |
100万元-500万元 | 1.1% |
500万元-1000万元 | 0.8% |
1000万元-5000万元 | 0.5% |
序号 | 评审内容 | 投标人1 | 投标人2 | ... | |
1 | 具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件 | 具有独立承担民事责任的能力; | |||
1 | 具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件 | 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度; | |||
1 | 具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件 | 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力; | |||
1 | 具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件 | 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录; | |||
1 | 具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件 | 参加招标投标活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录; | |||
1 | 具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件 | 法律、行政法规规定的其他条件 | |||
2 | 为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得参加本项目投标。(投标人提供了“投标人未为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的声明”,格式自拟,加盖公章。) | ||||
3 | 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动。(投标人提供了“投标人控股股东名称、控股公司的名称和存在管理、被管理关系单位名称的说明”,格式自拟,加盖公章。)各投标人之间不存在单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系情形。 | ||||
4 | 银行出具的资信证明文件或公司上一年度(2020年度或2021年度)经会计师事务所审计的财务审计报告(投标人必须提供,但由专业担保机构已出具投标担保函的除外) | ||||
5 | 依法缴纳税收的记录(提供投标截止日期之前12个月内任何一期纳税记录复印件并加盖投标人公章,缴纳记录需体现有银行或税务部门印章)(自行编写或网页截图无效)(依法免税的供应商,须提供相应文件证明其依法免税) | ||||
6 | 依法缴纳社会保障资金的记录(提供投标截止日期之前12个月内任何一期缴费记录复印件并加盖投标人公章,缴纳记录需体现有银行或税务部门或社保部门印章)(自行编写或网页截图无效)(依法不需要缴纳社会保障资金的供应商,须提供相应文件证明其依法不需要缴纳社会保障资金) | ||||
7 | 参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录声明。(格式自拟,加盖公章) | ||||
8 | 具有良好商业信誉和健全财务会计制度的财务状况的承诺(格式自拟,加盖公章) | ||||
9 | 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力的承诺(格式自拟,加盖公章) | ||||
10 | 非联合体形式投标 | ||||
11 | 投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单”记录名单;不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。(以采购代理机构于投标截止时间在“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)及中国政府采购网(http://www.ccgp.gov.cn/)查询结果为准,如相关失信记录已失效,投标人需提供相关证明资料)。 | ||||
结论 |
序号 | 评审内容 | 投标人1 | 投标人2 | ... |
1 | 是否满足供货数量需求 | |||
2 | 是否符合招标文件的签署盖章要求 | |||
3 | 是否按规定提交足够投标保证金 | |||
4 | 投标有效期是否满90天 | |||
5 | 是否按规定提交法定代表人授权书 | |||
6 | 投标报价是否固定唯一,且投标报价没有超过最高限价 | |||
7 | 投标文件是否满足项目需求的要求,且没有重大偏离(须满足带★条款) | |||
8 | 投标文件是否没有招标文件中规定的其它无效投标条款的 | |||
9 | 按有关法律、法规、规章是否不属于投标无效的 | |||
结 论 |
包号 | 货物名称 | 数量(台/套) | 交货期 | 交货地点 |
1 | 化学机械抛光机 | 1 | 合同签订后6个月交付 | 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院指定车间现场 |
序号 | 设备名称 | 数量 | 交货期 | 交货地点 |
1 | 化学机械抛光机 | 1套 | 合同签订后6个月交付 | 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院指定车间现场 |
配置模块 | 配置单元 | 数量 |
设备前端模块 | 全自动机械手 | 1套 |
设备前端模块 | 晶圆盒放置系统 | 1套 |
研磨主机 | 机械手 | 至少1套 |
研磨主机 | 研磨台 | 至少3套 |
研磨主机 | 8英寸抛光头 | 至少5套 |
研磨主机 | 修整器 | 至少3套 |
研磨主机 | 终点检测系统(扭矩) | 至少3套 |
研磨主机 | 终点检测系统(光学) | 至少1套 |
研磨主机 | 终点检测系统(涡流) | 至少1套 |
研磨主机 | 监控系统 | 1套 |
研磨主机 | 不间断电源 | 1套 |
研磨主机 | 真空系统 | 1套 |
清洗模块 | 清洗槽 | 至少2套 |
清洗模块 | 干燥槽 | 1套 |
清洗模块 | 废液排放 | 1套 |
清洗模块 | 废液排放出口 | 2个 |
控制系统 | 控制主机 | 1台 |
控制系统 | 全自动抛光控制软件 | 1套 |
化学药品供液系统 | 化学药品存储单元 | 至少2套 |
化学药品供液系统 | 全自动化学药品混液模块 | 至少2套 |
化学药品供液系统 | 全自动液体输送模块 | 至少2套 |
抛光液供液系统 | 化学药品存储系统 | 2套 |
抛光液供液系统 | 半自动输液系统 | 2套 |
序号 | 名称 | 规格型号 | 数量 | 单价 | 备注 |
1 | 抛光头保持环 | 10套 | |||
2 | 抛光头气膜 | 10套 | |||
3 |
序号 | 名称 | 规格型号 | 数量 | 备注 |
1 | 抛光头测漏仪 | 1套 | ||
2 | 修整器压力标定工具 | 1套 | ||
3 | 压力组件气压标定工具 | 1套 | ||
4 | 维护保养工具箱 | 1套 |
序号 | 资料名称 | 数量 | 备注 |
1 | 装箱单 | 1份 | |
2 | 合格证 | 1套 | |
3 | 中英文操作说明书 | 2套,其中1套为无尘本 | |
4 | 货物出厂证明 | 1份 | |
5 | 保养和维修手册 | 1份 | |
6 | 安装技术准备条件 | 1份 | |
7 | 安全手册 | 1份 | |
8 | CDS操作说明书、设备功能介绍、保养和维修手册、安装技术准备条件、安全手册 | 1份 | |
9 | SDS操作说明书、设备功能介绍、保养和维修手册、安装技术准备条件、安全手册 | 1份 | |
10 | 机台软件操作说明书 | 1份 |
序号 | 项目 | 指标 | 说明 |
1 | 粗糙度/nm | <0.5 | 8英寸Si晶圆,3μm-5μm氧化硅材料,去边5mm,面积5μm×5μm。 |
2 | 片内/间不一致性/% | 5%/4% | 8英寸Si晶圆,3μm-5μm氧化硅薄膜材料。每个抛光头不少于25片,不少于49点,去边5mm。 |
3 | 氧化硅去除速率/nm/min | >300 | 8英寸Si晶圆,3μm-5μm氧化硅材料。 |
4 | 表面缺陷 | 无 | 8英寸晶圆,去除量2μm-4μm,去边5mm。 |
5 | 250nm以上颗粒/颗 | 50 | 8英寸晶圆,去除量2μm-4μm,去边5mm。 |
6 | 碎片平均间隔/片 | >10000 | 8英寸晶圆,累计跑片不发生碎片 |
甲方: | 乙方:(中标人) |
地址: | 地址: |
法定代表人: | 法定代表人: |
委托代理人: | 委托代理人: |
电话: | 电话: |
传真: | 传真: |
邮政编码: | 邮政编码: |
开户银行: | 开户银行: |
帐号: | 帐号: |
包号 | 货物名称 | 数量 | 主要制造商名称和产地 | 价格条件(含税/免税) | 投标币种 | 投标总价 | 交货期 | 投标保证金金额 | 投标声明(境内/境外) |
序号 | 名 称 | 主要规格型号/描述 | 数量 | 制造商名称 | 单价 | 合计 |
1 | 主机和标准附件 | |||||
2 | ... | |||||
3 | 专用工具 | |||||
4 | 安装、调试、验收 | |||||
5 | 培训 | |||||
6 | 至最终目的地的运费和保险费 | |||||
7 | 质保期 | |||||
8 | 其他伴随服务费用 | |||||
9 | 总计 |
货物名称 | 制造商名称 | 品牌 | 主要规格型号 | 数量 | 交货期 | 交货地点 |
招标文件技术需求条目编号及所要求内容 | 投标文件应答内容 | 相关技术证明文件中的描述在投标文件中的具体页码 | 偏离说明(无偏离,正/负偏离及偏离情况) |
序号 | 招标文件内容条目号 | 招标文件要求 | 投标文件响应 | 偏离说明 |
1 | ||||
2 | ||||
3 | ||||
4 | ||||
5 |
评分项目 | 评分细则 | 分值 |
价格部分(30分) | 根据《财政部关于加强政府采购货物和服务 项目价格评审管理的通知》的规定,本次价格评分统一采用低价优先法计算,即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价,其价格分为满分。其他投标人的价格评分统一按照下列公式计算: 价格评分 =(评标基准价/投标报价)×30 | 30 |
商务部分(8分) | 1、商务条款应答响应情况标记为“★”的是关键商务条款,正偏离不加分,如不满足其投标予以拒绝。其他非“★”的商务条款:应答有负偏离得0分,应答全部无偏离得1分,应答有正偏离得2分 | 2 |
商务部分(8分) | 2、投标人的相关业绩(2022年1月1日起至投标截止日同类产品(8英寸机台或12英寸机台)的项目合同案例,每份合同加0.3分,最高不超过6分,案例以提供的合同为准,要求必须提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页复印件作为证明) | 6 |
技术部分(60分) | 1、技术指标条款响应情况技术指标评审基准分为45分,评委可根据技术指标的正负偏离情况进行评分;标记为“★”的指标是关键技术条款,正偏离不加分,如不满足其投标予以拒绝;(3) 标记为“▲”的指标是重要技术条款,正偏离不加分,负偏离每条减5分,负偏离超过6条(含)本项30分不得分无标记的指标是一般技术条款,正偏离不加分,负偏离每条减1分,负偏离超过15条(含)本项15分不得分;凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款,无论是否隶属于上一级编号。注:投标人对标记为星号(“★”)的关键技术条款必须在投标文件中提供技术支持资料。技术支持资料以制造商公开发布的印刷资料或检测机构出具的检测报告为准,凡不提供技术支持资料的,视为不满足招标文件要求,其投标予以拒绝。 | 45 |
技术部分(60分) | 售后服务方案、应急方案。投标人对本项目的售后服务方案和应急方案,包括但不限于维修响应时间、质保期承诺、安装调试验收安排、突发事件的处理措施、应急预案等进行综合评价:售后服务方案完善,针对本项目提出合理、可行的服务方案,突发事件的处理措施和应急预案非常详细切合实际得5分;售后服务方案较完善,针对本项目突发事件的处理措施和应急预案一般得3分;售后服务方案不够完善,针对本项目突发事件的处理措施和应急预案较差,不够切合实际得1分;未提供方案或提供了但是完全脱离实际,0 分。 | 5 |
技术部分(60分) | 培训方案,包括具体培训计划、具体安排、时间规划、培训内容及培训效果评价、培训质量保证等进行综合评价:方案全面、具体,可行性强得5分;方案比较全面、具体,可行性较强得3分;方案不全面,不具体,可行性一般得1分; 未提供方案或提供了但是完全脱离实际,0 分。 | 5 |
技术部分(60分) | 投标产品配置的合理性,根据投标产品的配置方案、可选配件、易耗品等配置情况进行综合评价:(1)配置方案、解决方案完善,可选配件、易耗品配置齐全,符合使用需求得5分;(2)配置方案、解决方案较完善,可选配件、易耗品配置较齐全,基本符合使用需求得3分;(3)配置方案、解决方案不够完善,可选配件、易耗品配置不够齐全,不能符合使用需求得1分; (4)未提供配置方案、解决方案或提供了但是完全脱离实际,0 分。 | 5 |
其他(2分) | 投标人所投产品获得相关节能、环保产品认证情况:(1)节能产品:投标产品属于财政部和国家发改委最新公布的优先采购节能产品政府采购品目清单的(须提供国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的节能产品认证证书复印件并加盖公章)得1分;否则0分。(2)环境标志产品:投标产品属于财政部和生态环境部最新公布的优先采购环境标志产品政府采购品目清单的(须提供国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的环境标志产品认证证书复印件并加盖公章)得1分;否则0分。 | 2 |
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