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修整器压力标定工具
"修整器压力标定工具"标讯
中标
广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院化学机械抛光机采购项目（第二次）中标公告
金额
5000万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/09/30
招标产品
仪器设备
规范编制
机台软件操作说明书
消耗品
主机
保养和维修手册
专用工具
常规保养
无尘本
货物出厂证明
CDS操作说明书
中英文操作说明书
系统故障处理
检测
设备正常运行
装箱单
监理
设备功能介绍
设备操作
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安装技术准备条件
工艺调试
抛光头气膜
抛光液供液系统
椭偏仪
8英寸Si晶圆
化学药品存储系统
安全手册
零配件
抛光头保持环
抛光头测漏仪
整体设计
SDS操作说明书
四探针
清洗模块
8英寸晶圆
维护保养工具箱
颗粒度测试仪
修整器压力标定工具
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压力组件气压标定工具
化学药品供液系统
国外货物与服务
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标准附件
安装调试
项目管理
合格证
招标公司
广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
中标公司
华海清科股份有限公司
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