一、项目编号：0835-220Z11909631（招标文件编号：0835-220Z11909631）
二、项目名称：华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）
三、中标（成交）信息
供应商名称：包组1：华格科技（苏州）有限公司
供应商地址：苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3
中标（成交）金额：488.00万元
供应商名称：包组3：深圳市矢量科学仪器有限公司
供应商地址：深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意产业园1栋B座408
中标（成交）金额：1299.9700万元
供应商名称：包组5：北京北方华创微电子装备有限公司
供应商地址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
中标（成交）金额：220.0000万元
供应商名称：包组6：广东省中科进出口有限公司
供应商地址：广东省广州市越秀区先烈中路100号大院9号102房自编A一楼
中标（成交）金额：299.00万元
四、主要标的信息
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序号 |
供应商名称 |
标的名称 |
品牌（如有） |
规格型号 |
数量 |
单价 |
|
1 |
华格科技（苏州）有限公司（包组1） |
MLA150 Maskless Aligner 中文名称：MLA150 无掩膜激光直写曝光机 |
海德堡仪器 |
Configurations/系统配置 - Diode Laser （405nm） - UV Diode Laser Illumination Module （375 nm） - Write Mode I （0.6 μm微米模块） - Optical Autofocus（光学式自动对焦） - Backside Alignment （BSA） - High Aspect Ratio Mode（MLHAR） |
1 |
4880000 |
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|
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|
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序号 |
供应商名称 |
标的名称 |
品牌（如有） |
规格型号 |
数量 |
单价 |
|
2 |
包组3： 深圳市矢量科学仪器有限公司 |
电子束光刻系统 （High performance electron beam lithograohy） |
Raith |
VOAYGER |
1 |
12999700 |
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序号 |
供应商名称 |
标的名称 |
品牌（如有） |
规格型号 |
数量 |
单价 |
|
3 |
包组5： 北京北方华创微电子装备有限公司 |
LPCVD 介质材料生长 |
NAURA |
HORICL200 |
1 |
2200000 |
|
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序号 |
供应商名称 |
标的名称 |
品牌（如有） |
规格型号 |
数量 |
单价 |
|
4 |
包组6： 广东省中科进出口有限公司 |
半导体参数分析系统 |
Keysight |
B1505A |
1 |
2990000 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
中国政府采购评审专家库抽取的专家名单：陈铧耀（评审组长）、杨莘、纪春阳、袁敏、严丽；
采购人代表：蒋华杏、马子超
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：本项目代理费收费标准：差额定率累进法收费：以中标通知书中的中标金额作为采购代理服务费的计算基数。参照原国家计委颁发的计价格〔2002〕1980号、发改办价格〔2003〕857号及发改价格〔2011〕534号文规定的“货物类”计费标准下浮20%计算并缴纳。
本项目代理费总金额：18.9415万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
1、包组1综合得分统计表
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序号 |
投标人名称 |
技术 得分 |
商务 得分 |
价格 得分 |
综合 得分 |
排名 |
|
1 |
华格科技（苏州）有限公司 |
44.57 |
9.00 |
24.28 |
77.85 |
1 |
|
2 |
深圳市易星标技术有限公司 |
41.57 |
1.00 |
30.00 |
72.57 |
2 |
|
3 |
广州绿测电子科技有限公司 |
29.07 |
3.00 |
29.48 |
61.55 |
3 |
2、包组3综合得分统计表
|
序号 |
投标人名称 |
技术 得分 |
商务 得分 |
价格 得分 |
综合 得分 |
排名 |
|
1 |
深圳市矢量科学仪器有限公司 |
39.00 |
11.00 |
29.90 |
79.90 |
1 |
|
2 |
深圳市鑫鑫科学仪器有限公司 |
32.71 |
1.00 |
30.00 |
63.71 |
2 |
|
3 |
深圳市学思生物科技有限公司 |
32.29 |
1.00 |
29.94 |
63.23 |
3 |
|
4 |
广东省北尚进出口有限公司 |
28.71 |
1.00 |
29.90 |
59.61 |
4 |
|
5 |
凯瑞智造（深圳）科技有限公司 |
28.29 |
1.00 |
29.90 |
59.19 |
5 |
|
6 |
广东省中科进出口有限公司 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
3、包组5综合得分统计表
|
序号 |
投标人名称 |
技术 得分 |
商务 得分 |
价格 得分 |
综合 得分 |
排名 |
|
1 |
北京北方华创微电子装备有限公司 |
41.57 |
17.00 |
30.00 |
88.57 |
1 |
|
2 |
青岛赛尔微电子有限公司 |
44.00 |
15.00 |
24.44 |
83.44 |
2 |
|
3 |
青岛华旗科技有限公司 |
36.29 |
13.00 |
22.15 |
71.44 |
3 |
|
4 |
北京海春达信科技有限公司 |
43.71 |
1.00 |
22.07 |
66.78 |
4 |
|
5 |
上海矽晶电子科技有限公司 |
41.43 |
1.00 |
23.47 |
65.90 |
5 |
|
6 |
青岛鑫盛宏发机械有限公司 |
37.71 |
1.00 |
22.33 |
61.04 |
6 |
|
7 |
上海博纳微电子设备有限公司 |
36.14 |
1.00 |
22.00 |
59.14 |
7 |
4、包组6综合得分统计表
|
序号 |
投标人名称 |
技术 得分 |
商务 得分 |
价格 得分 |
综合 得分 |
排名 |
|
1 |
广东省中科进出口有限公司 |
42.43 |
19.00 |
30.00 |
91.43 |
1 |
|
2 |
广州中仪进出口有限公司 |
27.29 |
1.00 |
29.91 |
58.20 |
2 |
|
3 |
广州守诚贸易发展有限公司 |
23.14 |
1.00 |
29.92 |
54.06 |
3 |
包组2：：至投标文件递交截止时间，因递交投标文件的供应商不足法定三家，故对本包组作废标处理。
包组4：至投标文件递交截止时间，因递交投标文件的供应商不足法定三家，故对本包组作废标处理。
各有关当事人对中标结果有异议的，可以在中标公告发布之日起7个工作日内以书面形式向（采购代理机构）（或采购人）提出质疑，逾期将依法不予受理。
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：华南理工大学
地址：广州市天河区五山路381号
联系方式：020-22236003
2.采购代理机构信息
名 称：广东元正招标采购有限公司
地 址：广州市越秀区先烈中路102号华盛大厦北塔26楼
联系方式：020-87258495
3.项目联系方式
项目联系人：何小姐、黄先生
电 话：020-87258495-103
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