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LPCVD介质材料生长
"LPCVD介质材料生长"标讯
中标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）（项目编号：0835-220Z11909631）中标公告
金额
2306.97万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/28
招标产品
无掩膜激光直写曝光机
综合得分统计表
半导体参数分析系统
LPCVD介质材料生长
微纳电子加工平台制备设备
电子束光刻系统
招标公司
华南理工大学
中标公司
深圳市矢量科学仪器有限公司
共4家
中标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）（项目编号：0835-220Z11909631）中标公告
金额
2306.97万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/27
招标产品
无掩膜激光直写曝光机
综合得分统计表
半导体参数分析系统
LPCVD介质材料生长
微纳电子加工平台制备设备
电子束光刻系统
招标公司
华南理工大学
中标公司
广东省中科进出口有限公司
共4家
中标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）（项目编号：0835-220Z11909631）中标公告
金额
2306.97万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/20
招标产品
半导体参数分析系统
LPCVD介质材料生长
MLA150无掩膜激光直写曝光机
微纳电子加工平台制备设备
电子束光刻系统
招标公司
华南理工大学
中标公司
华格科技（苏州）有限公司
共4家
招标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）(项目编号：0835-220Z11909601)招标公告
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/28
招标产品
微纳电子加工平台制备
无掩模激光直写光刻机
四管卧式LPCVD系统
离子注入机
电子束光刻系统
步进式光刻机
LPCVD介质材料生长
半导体参数分析系统
整体设计
规范编制
项目管理
监理
检测
招标公司
华南理工大学
招标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）(项目编号：0835-220Z11909631)招标公告
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/28
招标产品
半导体参数分析系统
无掩模激光直写光刻机
LPCVD介质材料生长
规范编制
监理
整体设计
微纳电子加工平台制备
步进式光刻机
项目管理
离子注入机
检测
电子束光刻系统
四管卧式LPCVD系统
招标公司
华南理工大学
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