申购单号：CB105902020001384 成交总额：******
申购主题：原子层沉积系统 送货时间：合同签订后20天内送达
采购单位：深圳大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
竞价开始时间：2020-11-05 15:56:39 收货地址：******
竞价截至时间：2020-11-12 12:00:00
币种：人民币
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：
质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果：
采购项：原子层沉积系统 数量：1.0null
品牌： MNT 型号： MNT-S100-L3S1
单项预算：0.00 成交总价：196000.00
成交单价：196000.00 成交供应商：江苏迈纳德微纳技术有限公司
质保及售后服务： 按行业标准提供服务
技术参数： 4英寸基底台; 1） 设备可用于沉积单一薄膜、纳米叠层与梯度薄膜的沉积和掺杂质等；可在纳米孔洞、台阶等高深宽比的纳米结构上沉积薄膜，具有良好的台阶覆盖性； 2） 样品上沉积氧化铝薄膜膜厚非均匀性≤±1%（4英寸晶圆）。 3） 可制备的材料：如Al2O3、HfO2、ZrO2等各类金属氧化物，提供相应材料的工艺菜单。 4） 配备4路前驱体源主管路，其中1路用于常温前驱体源输送，3路用于加热前驱体源输送； 5） 前驱体源主输送主管路要求配备加热套，最高加热温度可达200℃。配置温度传感器，温度控制精度满足±1℃； 6） 每路管路配备ALD专用阀门，最高加热温度可达200℃，温度控制精度满足±1℃； 7） 工艺气体管路采用电抛光不锈钢材料，接头必须采用VCR金属密封； 8） 载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制； 9） 配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数； 10） 控制系统PLC+触摸屏，控制元器件之间有足够的散热空间。设备的电气控制系统安全可靠，维护方便； 11） 提供备用配件一套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、使用手册、说明书、维修手册，标准工艺手册等各1套。 12） 质保期1年，软件终身免费升级。 13） 设备生产过程符合ISO9001质量管路体系认证要求。