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常温前驱体源
"常温前驱体源"标讯
中标
原子层沉积系统
金额
19.6万元
项目地址
广东省
发布时间
2020/11/12
招标产品
N2或者Ar气体
原子层沉积系统
HfO2
电气控制系统
控制元器件
电抛光不锈钢
腔体密封圈
ZrO2
备用配件
触摸屏
维修手册
加热套
使用手册
ALD专用阀门
温度传感器
惰性气体自清洗系统
标准工艺手册
工艺气体
每路管路
接头
常温前驱体源
前驱体源主输送
垫片
加热前驱体源
控制系统PLC
基底台
载气管路
说明书
招标公司
深圳大学
中标公司
江苏迈纳德微纳技术有限公司
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