东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000517)
发布时间：2024-04-29 15:15:53 截止时间：2024-05-06 09:00:00
基本信息：
申购主题：薄膜沉积系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：发布竞价结果后15天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：江苏省/南京市/江宁区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号		数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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薄膜沉积系统

1/台

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1、 镀膜室内净尺寸: L440×W400×H450；方箱式，前门旋转往右打开式，304优质不锈钢制造； 2、 真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于9L/S；分子泵抽速：不下小于：1300L/S； 3、 真空极限：8.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）； 4、 圆形基片台结构，可承载最大120×120mm 基片；；基片旋转：0～30转/分钟；加热:室温～500±1℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温； 5、 磁控溅射靶源：3只3英寸圆形平面靶；6、 基片台配有偏压清洗功能，并配有直流脉冲偏压电源； 7、 3台磁控溅射电源； 8、 配有质量流量控制器三路，供Ar、N2、O2气体使用； 9、 配备有循环水冷机和空气压缩机； 10、 PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统； 11、 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 12、设备配备有独立机架及电控柜；

按行业标准提供服务