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磁控溅射靶源
"磁控溅射靶源"标讯
招标
薄膜沉积系统-东南大学-竞价公告(CB102862024000517)
项目地址
江苏省
发布时间
2024/04/29
招标产品
质量流量控制器
电控柜
报警及保护
基片台
镀膜室
磁控溅射电源
半自动控制系统
独立机架
薄膜沉积系统
真空系统
循环水冷机
空气压缩机
对泵
逻辑程序互锁保护系统
3只3英寸圆形平面靶
偏压清洗功能
磁控溅射靶源
招标公司
东南大学
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