化生院-原子层沉积（ALD）系统采购公告
化生学院就化生院-原子层沉积（ALD）系统项目组织采购活动，欢迎符合资质条件的供应商参与。
一、项目名称：原子层沉积（ALD）系统
二、采购预算： 19.8万人民币
三、采购内容：
1.采购需求：（技术、服务等要求应当完整、明确）
1.1设备配置参数：1套热型原子层沉积设备主机；1套8寸反应腔；1套常温液源管路；3套加热源管路；1套用于吸附残留前驱体源的热阱；1套机械泵；1套备品备件。
1.2 设备主机规格：适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；设备本底真空优于3Pa；设备漏率≤5×10 -10Pa·m3/s；控制方式：PLC+触摸屏；多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式。
1.3 反应腔系统：反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；密封方式：采用燕尾槽密封并配备耐腐蚀密封圈；样品台尺寸：标准8英寸腔体，直径为200 mm；样品台加热温度最高可达400℃，采用PID 控制方式，控制精度为±1℃；反应腔配备自动充气及过压保护功能。
1.4 前驱体输送系统：常温源1路，加热源3路；前驱体输送管路加热温度范围RT-250℃，控制精度±1℃；常温源：配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms)、源手动阀、不锈钢源瓶(50mL)；加热源：配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms，阀体内置直径为1/8 英寸加热器，温度范围RT-200℃)、源手动阀、不锈钢源瓶(50mL)，源瓶温度范围RT-200℃；载气辅助源：配备三孔ALD 阀门(响应时间＜5ms，阀体内置直径为1/8英寸加热器，温度范围RT-200℃)、载气脉冲ALD 阀门(响应时间＜5 ms)、源手动阀(耐温121℃)、MFC（量程0-100sccm)，不锈钢源瓶(100mL)；管路及接头均采用316 EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR 密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数。
1.5真空系统：真空泵采用机械泵，抽速不低于14 m3/h；真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4-1000mbar；真空抽气管道可以烘烤至150℃，且真空泵前级配置热阱，温度范围RT-300℃，控制精度±1℃。
1.6控制系统：采用高稳定性的PLC+工业触摸屏方式；触摸屏尺寸不小于15.6 英寸；PLC采用工业以太网控制方式，支持灵活扩展DeviceNet、CANopen、PROFIBUS DP等通信方式；系统可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有ALD 阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能；系统设有高级界面，可进行温度PID 参数自整定、前驱体标签修改等；5）系统可实时显示加热状态、阀门开关状态、压力曲线、镀膜进度等并可实现远程操作；系统可实时监测动力气体压力值、系统压力值、加热状态、阀门开关状态等，当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看。
1.7其他伴随服务：提供备用配件一套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、操作说明书1套；质保期1年，软件终身免费升级；设备生产过程符合ISO9001质量管路体系认证要求。
2.交付时间： 2023年12月10日前 
3.交付地点：南京邮电大学仙林校区教五114-2室
4.验收要求：现场按采购需求验收，厂家须提供氧化铝薄膜的标准工艺配方，前驱体为三甲基铝+水，按以下内容进行现场制备与验收；薄膜均匀性：在8英寸晶圆上沉积500cycle氧化铝，以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心5点，边缘5mm 除外）进行椭偏仪测试膜厚，8英寸晶圆上薄膜不均匀性≤2%。  
5.付款时间、方式：2023年12月10日前，验收合格，付款100%。 
四、参与询价的供应商应具备的资格条件（供应商应对符合如下资格条件做出书面承诺）
1.具有独立承担民事责任的能力；
2.具有良好的商业信誉；
3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
4.有依法缴纳税收的良好记录；
5.参加本次采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
6.法律、行政法规规定的其他条件。
五、响应文件提交方式及截止时间
1、提交方式为： 纸质材料提交至南京邮电大学仙林校区教五202-2室
2、截止时间：2023年11月30日15时（北京时间）
响应材料至少应包含：1、法人授权书；2、代理人身份证复印件；3、加盖公章的报价表及承诺书。
六、评审时间、地点及评定原则
1.时间：2023年11月30日16时-17时（北京时间）
2.地点：南京邮电大学仙林校区教四203室
3.综合评审原则：根据报价、质量、服务等因素综合评定，按评审得分由高到低的原则确定成交供应商。（采购人根据项目特点在采购公告或评审方案中明确报价、质量、服务等评审因素的权重或分值）
七、联系人及联系方式
联 系 人：闫伟博 
联系电话： 15751860807         Email: iamwbyan@njupt.edu.cn
联系地址：南京市栖霞区仙林大学城文苑路9号教五202-2室
 
 
 
评审方法与评审标准如下：

序号	评审项目	评审细则	分值
1	价格 （40分）	价格分采用低价优先法计算，即满足采购文件要求且报价最低的加盖为评审基准价，其价格分为满分。其他报价单位的价格分统一按下列公式计算：报价得分=（评定基准价/报价）×40；计算结果保留至小数点后两位。	40
2	技术参数（35分）	产品对采购文件具体需求的响应程度： 满足采购文件技术指标、参数要求的得35分（"★"为重要指标，有负偏离则作废标处理；"▼"项的为主要指标，每有一项负偏离减5分；扣完为止。）	35
3	售后服务与质保（15分）	质保期（5分）：报价单位在满足采购文件要求的基础上，每增加1年免费质保期得2.5分，最多5分。（需提供承诺书，并加盖公章。）	5
		售后服务方案（至少包括服务内容、故障解决方案、响应时间、专业技术人员保障、服务电话及培训等）： 方案完善、详细，可实施性强，优于项目需求得10分； 方案较完善、详细，可实施性较强，符合项目需求得7分； 方案完善性、详细性一般，可实施性一般，基本满足项目需求得4分； 方案完善性、详细性、可实施性较差，不完全满足项目需求得1分； 不提供者不得分。	10
4	设备性能评价（10分）	产品的先进性好、匹配性高、可靠性高、稳定性高以及质量、性能好，优于项目需求得10分； 产品的先进性较好、匹配性较高、可靠性较高、稳定性较高以及质量、性能较好，满足项目需求得7分； 产品的先进性一般、匹配性一般、可靠性一般、稳定性一般以及质量、性能一般，基本满足项目需求得4分； 产品的先进性、匹配性、可靠性、稳定性等较差，不完全满足项目需求得1分； 不提供者不得分。	10
合计			100分