金额
19.8万元
发布时间
2023/11/24
金额
18万元
项目地址
山东省
发布时间
2019/09/05
招标产品
进口压力传感器热型反应腔源瓶弹性工艺配方自动清洗工艺气体流量原子层沉积系统腔体密封圈电气控制系统腔体自动抽气阀门暴露模式控制软件备用配件触摸屏自动充气维修手册反应腔系统软件终身免费升级系统压力曲线前驱体源主管路使用手册镍铜等部分金属薄膜气体进气阀门开关加热源管路自动排空温度传感器高纵深比结构镀膜惰性气体自清洗系统标准工艺手册前驱体管路氧化铝薄膜工艺气体管路前驱体源主输送主管路原子层沉积设备机械泵抽真空真空计保护阀门垫片可拆卸加热套沉积单一薄膜bubbler载气三甲基铝常温源装置及管路加热源装置及管路常温液源管路等离子体系统升级热阱前驱体源接口连续流动的快速沉积真空系统前驱体源输送系统固态加热源装置多元化合物精确比例掺杂沉积说明书载气管路采用N2或者Ar气体
招标公司
中标公司
解决方案
联系我们
返回顶部