申购单号：CB102942021000061 成交总额：******
申购主题：紫外单面光刻机 送货时间：合同签订后30天内送达
采购单位：河海大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
竞价开始时间：2021-07-06 09:33:31 收货地址：******
竞价截至时间：2021-07-09 09:42:26
币种：人民币
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：
质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果：
采购项：紫外单面光刻机 数量：1.0null
品牌： IOE 型号： URE-2000/35L
单项预算：0.00 成交总价：168000.00
成交单价：168000.00 成交供应商：成都飞诚光电技术有限公司
质保及售后服务： （1）紫外光刻机产品为全新产品，生产完成后包装运输至用户指定地点，并派出专业工程师负责免费上门安装与调试，将设备恢复到原有技术状态。 （2）配合用户现场验收。提供产品出厂检验方法及检验报告、检验合格证，使用操作与维护说明书，配合用户现场验收。验收标准按合同验收条款执行； （3）设备现场安装调试完成后，负责免费为客户操作人员提供产品操作技能与维护相关知识的专业培训，培训时间及人员据用户需求确定。 （4）对提供产品实行壹年质保期和永久的跟踪维护服务。 （5）设备技术响应时间在2小时内，现场技术支持响应时间在24小时内，72小时内排除设备故障； （6）如产品在质保期内出现任何非人为的质量问题，我所将负责免费维修、更换。 （7）质保期满后负责长期按成本价提供所需配件，以保证设备的后期使用，发现问题我们将及时处理排除，并免收维护工程技术人员劳务费用。
技术参数： 1．技术参数 ？ 曝光面积：4英寸 ？ 曝光波长：365nm ？ 分辨力：0.8mm-1mm ？ 对准精度：±0. 8mm ？ 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm ？ 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 ？ 样片尺寸：直径f10mm-- f100mm（各种不规则片） ？ ★厚度可适应0.1mm--6mm（最大可扩展为15mm） ？ 曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量 ？ 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能 ？ ★双目双视场对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍 ？ 调平接触压力通过传感器保证重复 ？ ★数字设定对准间隙和曝光间隙 ？ ★具备压印模块接口，也具备接近模块接口 ？ 掩模相对于样片运动行程： ？ X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o ？ ★最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件） ？ 光源平行性：2.5 o ？ 曝光能量密度：>40mW/cm2 ？ 单层曝光一键完成 ？ 采用球气浮自动找平 ？ 照明不均匀性： ￡2.5%（ f100mm范围）； ？ ★曝光光源：紫外LED（进口）； 2．外形尺寸：约1400mm（长）？1200mm（宽） ？1600mm（高） 3．配置 设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。 （曝光头系统包括：？ 进口紫外LED光源模块；？ LED光源整形模块；？ XYZ光源位置调节台；？ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79个透镜）、场镜组、反射镜组）；？ 冷却风扇。 对准工件台包括：？ 掩模样片整体运动台；？ 掩模样片相对运动台；？ 转动台；？ 样片调平机构,自动完成；？ 基片抽拉式上下机构；？ 样片调焦机构，电机自动调；？ 承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸；？ 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸； 对准系统包括：？ 光源、 电源；？ 双目双视场对准显微镜主体；？ 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）；？ 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）；？ CCD对准系统，22寸液晶显示器。 电控系统包括：？ 单片机控制系统；？ 紫外LED电源模块；？ 控制柜桌。 气动系统包括：？ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；？ 电磁阀驱动；？ 气动仪表。其他附件：？ 真空泵一台（无油泵）；？ 空压机一台（静音泵）；？ 管道）