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掩模样片相对运动台
"掩模样片相对运动台"标讯
中标
汕头广工大协同创新研究院实验室-湿电子化学品加工测试系统解决方案采购项目竞争性磋商成交公告
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/29
招标产品
可变光栏
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掩模样片相对运动台
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开发工程装备
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招标公司
汕头广工大协同创新研究院
中标公司
广州为科仪器科技有限公司
中标
紫外单面光刻机
金额
16.8万元
项目地址
江苏省
发布时间
2021/07/10
招标产品
承片台
可变光栏
单片机控制系统
控制柜桌
静音泵
气动仪表
光学系统
进口紫外LED光源模块
掩模样片相对运动台
自动完成
冷却风扇
蝇眼透镜组
反射镜组
液晶显示器
气动系统
无油泵
显微镜
CCD对准系统
XYZ光源位置调节台
减压阀
电磁阀驱动
电控系统
紫外单面光刻机
LED光源整形模块
真空泵
气动开关
基片抽拉式上下机构
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气缸
电机自动调
空压机
招标公司
河海大学
中标公司
成都飞诚光电技术有限公司
中标
中南大学-竞价结果详情(CB119422018001447) —— 紫外光刻机
金额
19万元
项目地址
湖南省
发布时间
2018/05/03
招标产品
承片台
样片抽拉式上下机构
可变光栏
冷光椭球镜
场镜
光刻机底座
光学系统
冷光反射镜
三点自动完成
掩模样片相对运动台
冷却风扇
蝇眼透镜组
紫外幅照计
汞灯调节台
固定光栏
准直镜镜
掩模样片整体运动台
样片调焦机构
样片调平机构
对准工件台
基片抽拉式上下机构
掩模夹
i线滤光片
显微镜扫描台
高压汞灯
紫外光刻机
工位切换台
转动台
气缸
曝光头
快门
电机自动调
招标公司
中南大学
中标公司
中国科学院光电技术研究所光学元件厂
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