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三点自动完成
"三点自动完成"标讯
中标
中南大学-竞价结果详情(CB119422018001447) —— 紫外光刻机
金额
19万元
项目地址
湖南省
发布时间
2018/05/03
招标产品
承片台
样片抽拉式上下机构
可变光栏
冷光椭球镜
场镜
光刻机底座
光学系统
冷光反射镜
三点自动完成
掩模样片相对运动台
冷却风扇
蝇眼透镜组
紫外幅照计
汞灯调节台
固定光栏
准直镜镜
掩模样片整体运动台
样片调焦机构
样片调平机构
对准工件台
基片抽拉式上下机构
掩模夹
i线滤光片
显微镜扫描台
高压汞灯
紫外光刻机
工位切换台
转动台
气缸
曝光头
快门
电机自动调
招标公司
中南大学
中标公司
中国科学院光电技术研究所光学元件厂
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