中标
中南大学-竞价结果详情(CB119422018001447) —— 紫外光刻机
金额
19万元
项目地址
湖南省
发布时间
2018/05/03
公告摘要
公告正文
中南大学 - 竞价结果详情 （CB119422018001447）
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 紫外光刻机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 03040000 光学仪器 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-05-03 10:44 |
| 竞价结束时间： | 2018-05-06 18:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 中国科学院光电技术研究所光学元件厂 | 紫外光刻机 | 1 | 中国科学院光电技术研究所 | URE-2000/30型 | 按行业标准提供服务 | 1.技术目标（指标）： ? 曝光面积：100mm×100mm； ? 曝光波长：365nm； ? 分辨力：≤1mm（胶厚1.5 mm的正胶）； ? 对准精度：±0.8mm； ? 显微镜扫描台运动范围：X：10mm;Y:10mm； ? 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸； ? 样片尺寸：直径f15mm-- f100mm（各种不规则片）、厚度0.1mm--6mm； ? 曝光方式：定时（倒计时方式）； ? 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能 ? 照明不均匀性： 3%（f100mm 范围）； ? 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍， ? 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6?； ? 最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）； ? 光源平行性：3 ?； ? 曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面温度<35 ?C； ? 汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）； ? 调平接触压力通过传感器保证重复性； ? 可数字设定对准间隙和间隙； ? 具备压印模块接口，也具备接近模块接口。 2.整机构成与配置明细 （1）曝光头系统包括： ● 冷光椭球镜 ● 350W进口直流高压汞灯（德国欧司朗） ● XYZ汞灯调节台 ● 冷却风扇 ● 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2 （2） 对准工件台系统包括： ● 光刻机底座； ● 工位切换台（气缸）； ● 掩模样片整体运动台； ● 掩模样片相对运动台； ● 转动台； ● 样片调平机构,三点自动完成； ● 样片调焦机构，电机自动调； ? 基片抽拉式上下机构； ? 承片台4个：f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm； ? 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸； ? 样片抽拉式上下机构。 （3）对准显微镜系统包括： ? 光源、电源； ? 双目双视场对准显微镜主体； ? 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）； ? 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）； ? CCD对准系统，22寸液晶显示器； （4）电控系统系统包括： ? 汞灯触发电源（350W直流汞灯）； ? 单片机控制系统； ? 控制面板； ? 控制柜桌 ； （5）气动系统系统包括： ? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等； ? 电磁阀驱动； ? 气动仪表； （6）其他附件配置包括： ? 真空泵一台（无油泵 ）； ? 空压机一台（无油静音型 ）； ? 配套接口管道； ? 紫外幅照计一台。 （7）技术资料 ● 操作使用及维护说明书； ● 产品检验合格证。 （8）外形尺寸：≤1200mm（长）*700mm（宽） *1500mm（高） | 190000.0 | 总价最低原则 |
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