南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2023-00950
竞采采购公告

项目名称	反应离子刻蚀机采购项目
项目编号	SUSTech-JC-2023-00950
项目类型	货物类
成交方式	最低价成交
采购方式	公开竞采
公告开始时间	2023-06-25 17:23:50
公告结束时间	2023-06-30 17:23:50
预算(元)	700000.00
项目预算是否含税	国产含税
备注

采 购 明 细
	序号	名称	数量	单位
	1	反应离子刻蚀机（核心货物）	1	套
	品牌 无推荐品牌 型号 无推荐型号 技术规格及参数 设备功能：用于制备微纳结构和减层刻蚀， 适用于二维材料如金属硫族化合物、WTe2、MoS2、石墨烯等二维材料逐层减层刻蚀和图形化刻蚀；适用于硅基材料如单晶硅、多晶硅、氮化硅（SiNx）、氧化硅(SiO2)、石英(Quartz)以及碳化硅(SiC)等材料的图案化蚀刻；可用于有机材料如光刻胶、PMMA等材料的图案化与材料去层蚀刻。 工艺腔 1、样品台：4英寸圆片，兼容2英寸圆片以及碎片 *2、偏置功率源：固态13.56 MHz射频电源0~100 W可调，最大满功率不大于100 W，输出功率1~100W可调，最小稳定工艺功率3 W，功率调节精度0.1 W 3、样片控温范围：5 ℃～室温，控温精度±1 ℃ *4、工艺腔材质为半导体级铝材，内径不大于350mm，内壁经耐腐氧化处理 *5、工艺腔内壁带有内衬，内衬表面经耐腐氧化处理 传输腔 1、传输腔一套，预留大气样片传输口与手套箱传输口 2、真空机械手一套 真空泵组 1、分子泵：抽速大于600 L/s 2、前级泵：抽速大于10 L/s机械泵 3、工艺真空规：采用电容薄膜规测量 气路系统 1、气体种类：三路工艺气体O2, Ar, CF4，一路吹扫气体N2，一路CDA 2、气体量程：O2, Ar, CF4, CHF3, SF6: 0~300 sccm *3、采用质量流量计（MFC）控制气体流量，MFC采用数字通讯，金属密封，MFC支持在线更改气体种类与气体量程，气体管路接头采用进口接头，MFC前后端设置气动隔膜阀 控制系统 1、控制系统：采用基于Windows的工控机作为控制系统主机 2、控制软件：基于C 语言全自动控制流程，带有recipe 菜单，日志与数据记录，异常报警与处理，登录权限管理 3、采用15英寸触摸屏显示器作为人机交互界面，可实现用户等级与操作权限管理；自动运行与工程维护界面模块；实时显示机台状态；日志管理功能，工艺过程参数记录、机台事件记录以及机台警报与异常记录，生成Log文件；动作互锁功能；工艺菜单编辑功能；机台异常处理功能；单次刻蚀，支持多步刻蚀。 *5、安全控制系统带有安全互锁与急停机制（EMO）；带有机台异常处理机制； 工艺指标 *1、刻蚀速率：二维材料：0.3~2 layer/min（慢速逐层刻蚀），1 nm~30 nm/min（快速图形化刻蚀），硅基材料：5~20nm/min，PR材料：5~50nm/min 2、二维材料逐层减层刻蚀离子最小能量不大于10 eV 3、刻蚀均匀性：<±5%（@四英寸去除边缘效应） 所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件 质保期 验收合格后12个月 售后要求 中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。
	付款方式	4.合同生效并收到相应发票后支付合同总额的50%作为进度款；材料到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的50%.
	交货期	合同签订后150天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前3天（自然日）通知送货