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图案化蚀刻
"图案化蚀刻"标讯
中标
反应离子刻蚀机采购项目成交公告
项目地址
广东省
发布时间
2023/07/04
招标产品
反应离子刻蚀机
机台
微纳结构
减层刻蚀
金属硫族化合物
WTe2
MoS2
石墨烯
图形化刻蚀
单晶硅
多晶硅
石英(Quartz)
图案化蚀刻
光刻胶
PMMA
图案化刻蚀
工艺腔
样品台
4英寸圆片
偏置功率源
射频电源
样片
传输腔
真空机械手
真空泵组
分子泵
前级泵
工艺真空规
薄膜真空计
真空气路系统
气体流量控制
气体质量流量计
气体管路接头
中标公司
北京拙明科技有限公司
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-00950竞采采购公告
金额
70万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/06/25
招标产品
单晶硅
MFC前后端设置气动隔膜阀控制系统
多晶硅
质量流量计
安全控制系统
气体管路接头
反应离子刻蚀机
微纳结构
二维材料
WTe2
金属硫族化合物
分子泵
样片
工艺真空规
偏置功率源
传输腔
4英寸圆片
工艺腔
真空机械手
样品台
图形化刻蚀
去层蚀刻
石墨烯
电容薄膜规测量气路系统
图案化蚀刻
真空泵组
射频电源
二维材料逐层减层刻蚀
光刻胶
前级泵
招标公司
南方科技大学
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