南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2023-00950
竞采结果公告

项目名称	反应离子刻蚀机采购项目
项目编号	SUSTech-JC-2023-00950
项目类型	货物类
成交方式	最低价成交
公示时间	本公告自发布之日起三日
成交单位	北京拙明科技有限公司
成交金额(元)	650000.00
成交理由	最低价成交
预算(元)	700000.0
项目预算是否含税	国产含税
备注

响 应 情 况	采购明细
	序号	名称	数量	单位	单价/元(报价)	总价/元(报价)
	1	反应离子刻蚀机（核心货物）	1	套	650000.0	650000.0
	品牌 三和联 型号 SHL 100μ-RIE 生产厂商 北京三和联科技有限公司 产地信息 北京市昌平区 技术规格及参数 设备功能：基于平板式等离子体原理，机台可用于制备微纳结构以及材料减层刻蚀， 可用于如金属硫族化合物、WTe2、MoS2、石墨烯等二维材料逐层减层刻蚀和图形化刻蚀；可用于如单晶硅、多晶硅、氮化硅（SiNx）、氧化硅(SiO2)、石英(Quartz)以及碳化硅(SiC)等硅基材料的图案化蚀刻；可用于如光刻胶、PMMA等有机材料的图案化刻蚀。 工艺腔 1、样品台：4英寸圆片，兼容2英寸圆片以及碎片 *2、偏置功率源：固态13.56 MHz射频电源0~100 W可调，最大满功率100 W，输出功率1~100W可调，最小稳定工艺功率3W，功率调节精度0.1 W 3、样片控温范围：5 ℃～室温，控温精度±1 ℃ *4、工艺腔材质为半导体级铝材，内径340mm，内壁经耐腐氧化处理 *5、工艺腔内壁带有内衬，内衬表面经耐腐氧化处理 传输腔 1、传输腔一套，预留大气样片传输口与手套箱传输口 2、真空机械手一套 真空泵组 1、分子泵：采用抽速为620L/s的油润滑分子泵 2、前级泵：采用抽速为11 L/s机械泵 3、工艺真空规：使用进口INFICON耐腐蚀电容薄膜真空计测量腔室真空 气路系统 1、气体种类：五路工艺气体O2, Ar, CF4，CHF3, SF6，一路吹扫气体N2，一路CDA 2、气体量程：O2, Ar, CF4, CHF3, SF6: 0~300 sccm *3、气体流量控制使用气体质量流量计（MFC），MFC采用金属密封方式，采用串口数字通讯方式，支持在线更改气体种类与气体量程，气体管路接头采用日本Fujikin接头，MFC前后端设置气动隔膜阀以保护MFC 控制系统 1、控制系统：机台采用Windows系统的工控机作为机台的控制系统主机 2、控制软件：基于C语言自主研发，软件支持全自动流程控制，支持recipe工艺菜单库，支持机台日志与工艺数据记录，支持异常报警处理，支持登录权限管理 3、机台人机交互界面采用15英寸触摸屏显示器，控制软件带有用户等级管理与操作权限管理；带有自动运行与工程维护界面模块；带有实时显示机台状态功能；带有日志管理功能，带有工艺过程参数记录、机台事件记录以及机台警报与异常记录功能，支持生成机台Log文件；带有动作互锁功能；带有工艺菜单编辑功能；带有机台异常处理功能，单次刻蚀，支持多步刻蚀工艺 *5、机台安全控制系统带有安全互锁与急停机制（EMO）；机台带有异常处理机制 工艺指标 *1、刻蚀速率：二维材料：0.2~2 layer/min（慢速逐层刻蚀），1 nm~30 nm/min（快速图形化刻蚀），硅基材料：5~20nm/min，PR材料：5~50nm/min 2、二维材料逐层减层刻蚀离子最小能量为8 eV 3、刻蚀均匀性：<±5%（@四英寸去除边缘效应） 所响应产品都是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），软件为正版软件。 质保期 验收合格后12个月 售后要求 报修联系人：曹英豪，电话：13643950550.验收合格后保修方案：电话24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。电话不能解决问题的，我单位将在48小时内派遣工程师到达客户现场。
	付款方式	4.合同生效并收到相应发票后支付合同总额的50%作为进度款；材料到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的50%.
	交货期	合同签订后150天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前3天（自然日）通知送货