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图案化刻蚀
"图案化刻蚀"标讯
中标
反应离子刻蚀机采购项目成交公告
项目地址
广东省
发布时间
2023/07/04
招标产品
反应离子刻蚀机
机台
微纳结构
减层刻蚀
金属硫族化合物
WTe2
MoS2
石墨烯
图形化刻蚀
单晶硅
多晶硅
石英(Quartz)
图案化蚀刻
光刻胶
PMMA
图案化刻蚀
工艺腔
样品台
4英寸圆片
偏置功率源
射频电源
样片
传输腔
真空机械手
真空泵组
分子泵
前级泵
工艺真空规
薄膜真空计
真空气路系统
气体流量控制
气体质量流量计
气体管路接头
中标公司
北京拙明科技有限公司
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