深圳国际量子研究院电子束扫描系统采购项目意向公开

招标

金额

130万元

项目地址

广东省

发布时间

2023/09/11

公告摘要

项目编号-

预算金额130万元

招标联系人刘老师0755-88397970

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

采购单位:	深圳国际量子研究院
项目名称:	电子束扫描系统采购项目
预算金额（元）:	1,300,000.000
采购品目:	其他机械设备
采购需求概况:	电子束曝光机研制项目拟采购一套电子束扫描系统，对高速高稳定性电子束偏转控制、图形矢量扫描信号生成与调控等关键技术进行攻关，同时用于搭建电子束光刻设备测试平台。主要技术参数包括：电子枪类型：肖特基场发射；加速电压：50KV；束闸控制器：1个；透镜组：5级；物镜2组，偏转器：2组；最大可装载样品4英寸以及配有镜筒和真空样品室的主机台1个等。拟采购的电子束扫描系统主要由高真空腔体、样品台、电子枪、镜筒、高压电源、主机等部分构成。
预计采购时间:	2023-9
联系人:	刘老师
联系电话:	0755-88397970
备注:	无