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电子束光刻设备测试平台
"电子束光刻设备测试平台"标讯
招标
深圳国际量子研究院电子束扫描系统采购项目意向公开
金额
130万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/09/11
招标产品
镜筒
样品台
调控
偏转器
高压电源
电子束扫描系统
电子束曝光机
电子枪
主机
高真空腔体
物镜
透镜组
电子束光刻设备测试平台
图形矢量扫描信号生成
束闸控制器
电子束偏转控制
招标公司
深圳国际量子研究院
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