深圳大学 - 竞价公告 (CB105902024000464)
发布时间：2024-05-09 16:19:40 截止时间：2024-05-16 12:00:00
基本信息：
申购主题：ALD原子层沉积系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：199,980.00 人民币

收货地址：广东省/深圳市/南山区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号		数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

ALD原子层沉积系统

1/套

199980

普迪真空

ALD-T100Q

1、真空腔室优质 304 不锈钢真空室，尺寸约为 300mm（宽） × 300mm（深） × 380mm（高）最终以实际设计尺寸为准，内外部电抛光处理； 2、高真空泵：脂润滑分子泵；型号：北京中科科仪 150/700,抽速：700L/S； 3、高阀及限流阀：高真空插板阀；可控限流阀，可控制腔室压力； 4、机械泵：鲍斯真空 BSV24 直联旋片式真空泵（单相），抽速：约 6L/S； 5、真空测量：两低一高数显复合真空计； 6、电控气动粗抽阀、前级阀，电磁放气阀、充气阀； 7、两路进气，采用 Horiba Metron 流量计控制进气，流量计最大流量分别为200/5sccm，2 路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光 EP 管及 VCR 接头混合后导入真空室前方靶面进气； 8、1 台 500W 直流电源；1 个凡谷电子自动匹配射频电源，最大输出功率 750W； 9、100*100MM 偏压工件台，转速 0-25RPM 可调节； 10、控制系统采用德国西门子 PLC+德国西门子触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面。

按行业标准提供服务