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可控制腔室压力
"可控制腔室压力"标讯
招标
ALD原子层沉积系统-深圳大学-竞价公告(CB105902024000464)
金额
19.99万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/05/09
招标产品
ALD原子层沉积系统
普迪真空
真空腔室
不锈钢真空室
高真空泵
脂润滑分子泵
高阀
高真空插板阀
可控限流阀
可控制腔室压力
机械泵
真空测量
两低一高数显复合真空计
电控气动粗抽阀
前级阀
电磁放气阀
充气阀
两路进气
1台500W直流电源
凡谷电子自动匹配射频电源
偏压工件台
控制系统
招标公司
深圳大学
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