中标
西安交通大学-竞价结果详情(CB106982017001340)
金额
38.8万元
项目地址
陕西省
发布时间
2017/06/22
公告摘要
公告正文
西安交通大学 - 竞价结果详情 （CB106982017001340）
发布时间： 2017-06-02 17:54
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 原子层沉积系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 专用设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2017-06-02 17:54 |
| 竞价结束时间： | 2017-06-08 18:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 自报价厂商：元于科技（北京）有限公司 | 原子层沉积系统 | 1 | Labnano | YT-ALDT150 | 按行业标准提供服务 | 1、反应腔：可以生长最大6英寸样品的标准腔体，标准最大样品高度6mm基底加热温度RT-400℃可控，控制精度±1℃；腔体烘烤温度RT-200℃可控，控制精度±1℃ 2、沉积模式：包括以下2种工作模式：高速沉积的连续模式和沉积超高宽深比结构的停流模式 3、前驱体源：共4路前驱体源；1路为常温源，3路为加热源，加热温度RT-200℃可控，控制精度±1℃；加热源配备高温手动阀；标准前驱体源瓶体积50cc。 1路为常温源可接水/臭氧/氧气/氨气/H2S源等，制备氧化物，氮化物和硫化物。任意一路加热源可接相关前驱体源。 4、前驱体管路：所有前驱体管路全部采用316L不锈钢EP级管路，所有管路加热温度RT-150℃可控。 5、ALD阀：每一路前驱体配置一个原子层沉积专用高速高温ALD阀；ALD阀加热温度RT-150℃可控。 6、真空规：爱德华宽范围真空规，测量范围2x10-4 to 10+3torr. 7、排气管路：排气管路加热温度RT-150℃可控；配置截止阀一个，加热温度RT-150℃可控。 8、臭氧发生器系统：高浓度臭氧发生器，包括管路，裂解器附件；最高产量>7g/h，最大浓度>3.5%（w/w） 9、氨气纯化系统：氨气纯化器以及相应减压阀、阀门管路、接头等可将氨气杂质含量减少到1ppb以下。 10、控制硬件：PLC控制系统。 11、控制软件：专用软件全自动控制加热、流量、等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控。 12、真空机械泵 型号：TRP-6。 13、安装培训：工程师现场安装培训。 14、保修：1年免费保修，自验收之日起。 | 388000.0 |
解决方案
联系我们
返回顶部