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标准前驱体源
"标准前驱体源"标讯
中标
西安交通大学-竞价结果详情(CB106982017001340)
金额
38.8万元
项目地址
陕西省
发布时间
2017/06/22
招标产品
真空机械泵
真空规
PLC控制系统
标准前驱体源
安装培训
反应腔
臭氧发生器
原子层沉积系统
氨气纯化系统
氨气纯化器
沉积模式
裂解器附件
控制软件
前驱体管路
排气管路
控制硬件
原子层沉积专用高速高温ALD阀
招标公司
西安交通大学
中标公司
元于科技（北京）有限公司
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