华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（一）（项目编号：0835-220Z11909531）中标公告

中标

微纳电子加工平台制备设备半自动双面对准光刻机高转速旋涂机紫外光刻机无掩模数字光刻机通用电感耦合等离子体反应离子刻蚀机深反应离子刻蚀机 3D喷墨打印机等离子增强原子层沉积系统分清洁等级清洗台主机热压印光学对准系统

金额

2723.68万元

项目地址

广东省

发布时间

2022/12/28

公告摘要

项目编号0835-220z11909531

预算金额891万元

招标公司华南理工大学

招标联系人蒋华杏

招标代理机构广东元正招标采购有限公司

代理联系人陈小姐020-87258495

中标公司中国科学院光电技术研究所115万元

中标联系人-

中标公司广东微观科学仪器有限公司891万元

中标联系人-

中标公司广东省中科进出口有限公司399.8万元

中标联系人-

中标公司上海硕赛国际贸易有限公司254.6万元

中标联系人-

中标公司小龙仪器科技（深圳）有限公司415.28万元

中标联系人-

中标公司华林科纳（江苏）半导体设备有限公司298万元

中标联系人-

中标公司北京北方华创微电子装备有限公司350万元

中标联系人-

公告正文

一、项目编号：0835-220Z11909531（招标文件编号：0835-220Z11909531）

二、项目名称：华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（一）

三、中标（成交）信息

供应商名称：包组1：广东微观科学仪器有限公司

供应商地址：广东省东莞市松山湖园区科技九路1号1栋1单元412室

中标（成交）金额：891.0万元

供应商名称：包组2：中国科学院光电技术研究所

供应商地址：四川省成都市人民南路四段九号

中标（成交）金额：115.0万元

供应商名称：包组3：北京北方华创微电子装备有限公司

供应商地址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

中标（成交）金额：260.0万元

供应商名称：包组4：北京北方华创微电子装备有限公司

供应商地址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

中标（成交）金额：350.0万元

供应商名称：包组5：上海硕赛国际贸易有限公司

供应商地址：上海市青浦区赵巷镇嘉松中路5399号3幢4楼E区430室

中标（成交）金额：254.6万元

供应商名称：包组6：广东省中科进出口有限公司

供应商地址：广州市越秀区先烈中路100号大院9号102房自编A一楼

中标（成交）金额：399.8万元

供应商名称：包组7：华林科纳（江苏）半导体设备有限公司

供应商地址：如皋市城南街道新桃路90号

中标（成交）金额：298.0万元

供应商名称：包组8：小龙仪器科技（深圳）有限公司

供应商地址：深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南七道138号惠恒大楼一期458

中标（成交）金额：415.2820万元

四、主要标的信息

序号	供应商名称	标的名称	品牌（如有）	规格型号	数量	单价
1	包组1：广东微观科学仪器有限公司	半自动双面对准光刻机高转速旋涂机	详见附件	详见附件	1台；2套	详见附件

序号	供应商名称	标的名称	品牌（如有）	规格型号	数量	单价
2	包组2：中国科学院光电技术研究所	紫外光刻机，无掩模数字光刻机	IOE； IOE	URE-2000/30AL；DS-2000/14H	2台，1台	290,000.00；570,000.00

序号	供应商名称	标的名称	品牌（如有）	规格型号	数量	单价
3	包组3：北京北方华创微电子装备有限公司	通用电感耦合等离子体反应离子刻蚀机ICP-RIE	NAURA	GSE C200	1台	2,600,000.00

序号	供应商名称	标的名称	品牌（如有）	规格型号	数量	单价
4	包组4：北京北方华创微电子装备有限公司	深反应离子刻蚀机（DRIE）	NAURA	HSE M200	1台	3,500,000.00

序号	供应商名称	标的名称	品牌（如有）	规格型号	数量	单价
5	包组5：上海硕赛国际贸易有限公司	3D喷墨打印机	详见附件	详见附件	1台	详见附件

序号	供应商名称	标的名称	品牌（如有）	规格型号	数量	单价
6	包组6：广东省中科进出口有限公司	等离子增强原子层沉积系统（PEALD）	详见附件	详见附件	1台	详见附件

序号	供应商名称	标的名称	品牌（如有）	规格型号	数量	单价
7	包组7：华林科纳（江苏）半导体设备有限公司	分清洁等级清洗台	CSE	CSE-MX22	1套	2,980,000.00

序号	供应商名称	标的名称	品牌（如有）	规格型号	数量	单价
8	包组8：小龙仪器科技（深圳）有限公司	主机热压印；光学对准系统	详见附件	详见附件	1台，1套	详见附件

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

评审委员会总人数：7人，其中：

中国政府采购评审专家库抽取的专家名单：陈铧耀（评审组长）、杨莘、纪春阳、袁敏、严丽

采购人代表：蒋华杏、马子超

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：本项目代理费收费标准：差额定率累进法收费：以各包组中标通知书中的中标金额作为采购代理服务费的计算基数。参照原国家计委颁发的计价格〔2002〕1980号、发改办价格〔2003〕857号及发改价格〔2011〕534号文规定的“货物类”计费标准下浮20%计算并缴纳。

本项目代理费总金额：27.8780万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

包组1：综合得分统计表

序号	投标人名称	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	排名
1	广东微观科学仪器有限公司	45.93	10.00	30.00	85.93	1
2	北京德雷凯科技有限公司	38.86	0.00	29.88	68.74	2
3	上海庄润国际贸易有限公司	21.86	0.00	29.77	51.63	3

包组2：综合得分统计表

序号	投标人名称	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	排名
1	中国科学院光电技术研究所	50.43	13.00	30.00	93.43	1
2	成都博锐精密光电仪器制造有限公司	36.43	1.00	29.49	66.92	2
3	成都飞诚光电技术有限公司	35.71	1.00	29.16	65.87	3

包组3：综合得分统计表

序号	投标人名称	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	排名
1	北京北方华创微电子装备有限公司	38.29	11.00	30.00	79.29	1
2	北京海春达信科技有限公司	39.00	1.00	26.00	66.00	2
3	上海博纳微电子设备有限公司	24.71	4.00	26.00	54.71	3

包组4：综合得分统计表

序号	投标人名称	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	排名
1	北京北方华创微电子装备有限公司	45.71	11.00	30.00	86.71	1
2	北京海春达信科技有限公司	45.57	1.00	26.25	72.82	2
3	上海博纳微电子设备有限公司	39.29	4.00	26.25	69.54	3

包组5：综合得分统计表

序号	投标人名称	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	排名
1	上海硕赛国际贸易有限公司	45.86	4.00	30.00	79.86	1
2	北京大华博科智能科技有限公司	35.71	1.00	29.96	66.67	2
3	尹诺维讯（北京）光电科技有限公司	31.43	1.00	29.98	62.41	3

包组6：综合得分统计表

序号	投标人名称	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	排名
1	广东省中科进出口有限公司	45.50	9.00	30.00	84.50	1
2	广州市广大进出口有限公司	36.43	1.00	29.99	67.42	2
3	广东誉信科技有限公司	33.71	1.00	29.99	64.70	3

包组7：综合得分统计表

序号	投标人名称	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	排名
1	华林科纳（江苏）半导体设备有限公司	41.43	15.00	30.00	86.43	1
2	张家港市海航超声电气有限公司	35.29	7.50	29.80	72.59	2
3	苏州利星达自动化设备有限公司	35.29	3.50	29.90	68.69	3

包组8：综合得分统计表

序号	投标人名称	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	排名
1	小龙仪器科技（深圳）有限公司	38.86	12.00	25.28	76.14	1
2	广东省凯沃半导体科技有限公司	36.86	9.00	30.00	75.86	2
3	秉创科技（武汉）有限公司	34.86	3.00	25.29	63.15	3
4	致今科技（上海）有限公司	32.14	3.00	25.12	60.26	4