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无掩模数字光刻机
"无掩模数字光刻机"标讯
中标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（一）（项目编号：0835-220Z11909531）中标公告
金额
2723.68万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/28
招标产品
光学对准系统
高转速旋涂机
半自动双面对准光刻机
紫外光刻机
无掩模数字光刻机
深反应离子刻蚀机
等离子增强原子层沉积系统
微纳电子加工平台制备设备
分清洁等级清洗台
3D喷墨打印机
主机热压印
通用电感耦合等离子体反应离子刻蚀机
招标公司
华南理工大学
中标公司
华林科纳（江苏）半导体设备有限公司
共7家
中标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（一）（项目编号：0835-220Z11909531）中标公告
金额
2723.68万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/26
招标产品
光学对准系统
高转速旋涂机
半自动双面对准光刻机
紫外光刻机
无掩模数字光刻机
深反应离子刻蚀机
等离子增强原子层沉积系统
微纳电子加工平台制备设备
分清洁等级清洗台
3D喷墨打印机
主机热压印
通用电感耦合等离子体反应离子刻蚀机
招标公司
华南理工大学
中标公司
中国科学院光电技术研究所
共7家
中标
无掩模数字光刻机（清设比选20223760号）成交（中标）结果公告
项目地址
北京市
发布时间
2022/12/24
招标产品
无掩模数字光刻机
中标公司
北京瑞荧仪器科技有限公司
共4家
中标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（一）（项目编号：0835-220Z11909531）中标公告
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/20
招标产品
光学对准系统
高转速旋涂机
半自动双面对准光刻机
紫外光刻机
无掩模数字光刻机
深反应离子刻蚀机
等离子增强原子层沉积系统
微纳电子加工平台制备设备
分清洁等级清洗台
3D喷墨打印机
主机热压印
通用电感耦合等离子体反应离子刻蚀机
招标公司
华南理工大学
中标公司
北京北方华创微电子装备有限公司
共7家
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