一、采购项目信息
1.项目名称：MEMS表头深刻蚀加工
2.预算金额：186000元
二、供应商资格条件
1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定
2.需具备其他资质：详见采购文件
三、采购内容

序号	名称	数量	品牌	规格型号	技术参数	售后服务
1	光刻工艺加工	40			光刻对准精度优于2um	质保期： 验收合格后12个月，报修后，邮寄产品回厂返工，需收件后72小时内开始重新加工
2	深硅刻蚀工艺加工	20			深刻蚀深度>500um	质保期： 验收合格后12个月，报修后，邮寄产品回厂返工，需收件后72小时内开始重新加工
3	封装工艺加工及强度检测	20			封装强度>100MPa，测试后封装强度未达指标需重新加工	质保期： 验收合格后12个月，报修后，邮寄产品回厂返工，需收件后72小时内开始重新加工

四、采购文件获取
与项目联系人约定。
五、响应文件递交
按采购人规定的方式和时间递交。
六、项目联系人
联系人：刘骅锋
电话：13027170699
邮箱：huafengliu@hust.edu.cn
 
华中科技大学物理学院
2024年06月28日