1.项目名称：MEMS表头深刻蚀加工
2.成交供应商名称：湖北光谷实验室
3.成交供应商地址：武汉市洪山区珞喻路1037号华中科技大学光电信息大楼
4.成交金额(币种)：18.600万元
5.付款方式：合同签订后预付30%，验收合格后付70%尾款
6.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
1	光刻工艺加工40层，光刻对准精度优于2um	合同签订后2个月之内
2	深硅刻蚀工艺加工20片，深刻蚀深度>500um	合同签订后2个月之内
3	封装工艺加工20次，封装强度>100MPa	合同签订后2个月之内
4	封装强度检测20次	合同签订后2个月之内

                                                                       
 
华中科技大学物理学院
2024年07月08日