延期信息

延期理由：	由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2023-09-21 11:00 因报价情况不满足要求，采购方决定延期

项目名称	DK原子层沉积装置	项目编号	JJ2023002333
公告开始日期	2023-09-20 02:13:08	公告截止日期	2023-09-21 03:00:00
采购单位	南开大学	付款方式	供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求		到货时间要求	合同签定生效后30个工作日内
预算总价	NaN + NaN + NaN 未公布
发票要求	增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址	南开大学八里台校区
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明	由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2023-09-21 11:00

采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
DK原子层沉积装置	1	台	无 无

品牌 品牌1	诺图
型号	D100-4882
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ NaN
技术参数及配置要求	一、设备组成 (一) 设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件； (二) 样品基片尺寸：4英寸； (三) 反应器加热温度：室温~400℃ (四) 4路前体源：每路包含高温高速ALD专用阀门（美国Swagelok）、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门，4个加热套，可对管路和3路源进行加热（室温～200℃） (五) 所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口；配备4个VCR接口不锈钢源瓶2个VCR接口大口径隔膜阀和2个直通耐高温球阀； (六) 采用8通道阀岛（德国进口）集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）； (七) 采用8通道高精度PID温控系统； (八) 载气和臭氧：采用数字流量计程序控制； (九) 真空泵系统：真空机械泵与相关管路； (十) 尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵。 (十一) 臭氧系统：高浓度臭氧发生器及相关管路；臭氧流量为数字流量计控制；数字流量计控制流量，控制精度可达到±0.3 sccm (十二) 预装Windows笔记本电脑； (十三) 集成整合界面自动控制软件 程序控制两种工作模式（Flow type和Close type）可选。 二、技术指标： 基片尺寸：4英寸及以下 基片加热温度：室温～400℃，控制精度0.1℃ 前驱体输运系统：4路前驱体管路，可根据客户需要进行选配 前驱体管路温度：室温～200℃，控制精度0.1℃ 源瓶加热温度：室温～200℃，控制精度0.1℃ ALD阀门 ：美国进口世伟洛克Swagelok快速高温ALD专用阀门 真空系统：抽速3 L/s，极限压力可达到6 × 10-3 mbar 配备油雾过滤器 载气系统：采用8通道阀岛（德国进口）集成气动控制系统，并采用不锈钢管路，所用载气为高纯N2/Ar 反应气体系统：配置不锈钢气体管路和七星华创数字流量计，控制精度可达到±0.3 sccm 生长模式：Flow type和Close type两种可选 控制系统：操作界面统一整合到笔记本电脑进行控制 电源：220V/10A交流电源 沉积非均匀性：非均匀性＜± 1% 设备尺寸：700mm x 680mm x 990mm
参考链接
售后服务	按国家法定或行业要求提供售后服务。

南开大学
2023-09-20 02:13:08