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前驱体输运系统
"前驱体输运系统"标讯
招标
DK原子层沉积装置（JJ2023002333）延期公告
项目地址
天津市
发布时间
2023/09/20
招标产品
真空机械泵
臭氧系统
4路前体源
不锈钢源瓶
集成气动控制系统
高温高速ALD专用阀门
载气系统
预装Windows笔记本电脑
8通道高精度PID温控系统
基片
8通道阀岛
反应器
4路前驱体管路
臭氧发生器
真空泵系统
不锈钢设备框架
不锈钢试剂瓶
油雾过滤器
数字流量计控制
数字流量计程序控制
七星华创数字流量计
试剂瓶阀门
不锈钢气体管路
集成整合界面自动控制软件程序控制
尾气吸附肼
前驱体输运系统
原子层沉积装置
直通耐高温球阀
反应气体系统
载气管路
真空系统
招标公司
南开大学
招标
DK原子层沉积装置（JJ2023002333）采购公告
项目地址
天津市
发布时间
2023/09/19
招标产品
真空机械泵
臭氧系统
4路前体源
不锈钢源瓶
集成气动控制系统
高温高速ALD专用阀门
载气系统
预装Windows笔记本电脑
8通道高精度PID温控系统
基片
8通道阀岛
反应器
4路前驱体管路
臭氧发生器
真空泵系统
不锈钢设备框架
不锈钢试剂瓶
油雾过滤器
数字流量计控制
数字流量计程序控制
七星华创数字流量计
试剂瓶阀门
不锈钢气体管路
集成整合界面自动控制软件程序控制
尾气吸附肼
前驱体输运系统
原子层沉积装置
直通耐高温球阀
反应气体系统
载气管路
真空系统
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