原子层沉积竞价项目

招标

原子层沉积竞价项目

原子层沉积主系统 TALD-R主机沉积腔室控制系统前驱体源系统有机源系统水源系统吹扫气体高性能真空系统高性能真空泵

金额

项目地址

广东省

发布时间

2022/01/17

公告摘要

项目编号hw2022000027

预算金额-

招标公司华南理工大学

招标联系人-

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

一、采购需求信息

设备品目类别

仪器设备

设备用途

科研

项目号

HW2022000027

是否批量报价

总价最低成交

竞价开始时间

2022-01-17 11:09:49

竞价结束时间

2022-01-19 11:09:00

交货时间

结果公布后30天

交货地点

华南理工大学五山校区

产品类型

******

结算货币

人民币

贷款支付方式

1、验收合格后用户凭发票报账付清全额货款

二、原子层沉积

商品名称

原子层沉积

数量

参考品牌

北京安泰可科技有限公司

参考型号

TALD-150

计量单位

台

本商品预算单价（元）

******

保修年限

1年

技术指标

1、主系统:1套TALD-R 主机，包含：1）腔室：采用 KM-LP 半导体标准设计的 TALD 沉积腔室，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S；2）样品台：可放置最大4寸晶圆（以及4寸以下碎片），反应温度最高 300℃，控制精度±1℃，样品台设有保护片托，易于拆卸和清洗；3）控制系统：高精度 PLC+工控机沉积自动控制系统，可控制 500us 级别的信号循环周期，满足高精度 ALD 沉积需求，搭配沉积控制软件系统，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数；4）沉积模式：连续模式、停流模式；5）人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置；2、前驱体源系统：1套4路直通体前驱体源系统，包含：1）有机源系统：1路标准直通加热前驱体源，1路标准直通前驱体源，配置 swagelok 高温快速 ALD 阀（响应时间＜10ms）、手动阀、不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度 RT-200℃，控制精度±1℃；2）水源系统：1 路常温水源，配置 swagelok 快速 ALD 阀（响应时间＜10ms）、手动阀、专用水源瓶；3）吹扫气体：2 路载气，配置高精度质量流量计，控制精度满量程的±1%；3、真空系统：1套高性能真空系统，整机极限真空＜5×10-3Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S 包含：1）高性能真空泵，额定抽速＞16 m3/h；2）真空泵前级配置热阱，加热温度 300℃，控制精度±1℃，用于吸附、分解未反应的前驱体源；3）真空计，测量范围 5×10-2Torr-大气压，精度满量程的±1%；4）真空计前设有保护真空计的高效过滤网以及气动隔膜阀；

安装及售后要求

设备到达用户现场后，需等安装调试人员对仪器进行清点并进行安装调试，对安装过程进行拍照、用户培训以及签署阶段验收单。主机1年保修；设备故障72小时内响应。

附件

无

更多咨询报价请点击： http://wsjj.zbzx.scut.edu.cn/notices/12546