项目地址
广东省
发布时间
2023/11/23
招标公司
中标公司
金额
98万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/11/16
金额
47万元
项目地址
四川省
发布时间
2023/11/09
金额
850万元
项目地址
上海市
发布时间
2023/02/28
招标公司
项目地址
重庆市
发布时间
2023/02/21
招标公司
金额
149.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/18
招标公司
中标公司
金额
1071.94万元
项目地址
上海市
发布时间
2022/12/18
招标产品
吹扫用N2气路技术服务涡轮分子泵介质刻蚀机氧化物或者氮化物介质材料刻蚀专用工具前驱体源入口低温ICP腔体压缩空气可编程逻辑控制器维护常温Bosch腔体运输质量流量控制器备品备件自动节流阀传输腔配电箱射频偏压源重大故障应在72小时内修复设备操作手册原子层沉积腔体真空系统各主要部件手册多腔体真空级联自动匹配网络气路系统配件PLC通过现场总线连接各组件沉积Al2O3防腐蚀使用片盒布置图前驱体源系统感应耦合等离子体刻蚀反应腔等离子体源系统安全互锁金属氮化物沉积反应腔常温Bosch刻蚀腔体带机械手前级泵为干泵仪器各项性能测试报告原理图控制系统性能检验升级软件操作手册紧急停止开关常温Bosch工艺备件预真空室模块应用咨询客户机吹扫氮气远程诊断保险冷却水设备外接用户片盒站模块供电线路实时监测装置自动送片潘宁真空硅远程服务PEALD工艺气体手动送片金属薄膜Bosch工艺套件售后服务设施液氮杜瓦罐工艺气路槽载片器服务器射频源六端口转接腔实时监控沉积氧化物介质低温ICP刻蚀腔体薄膜电容真空计仪器安装调试移机转接腔模块带有高深宽比硅纳米结构的晶圆反应腔模块集成式气路柜维修中心耗材检测低温ICP工艺互联网连接各组件罗茨干泵低温系统设备服务手册深硅刻蚀下电极保养零部件电路图背冷却用He气路带有掩膜层拆装试车自动机械手软件在PC机安装调试DPU
招标公司
中标公司
金额
749万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/12/17
招标产品
高效过滤网硅晶圆中央真空传输系统热蒸发系统机械泵规范编制可装载4片4英寸及以下尺寸器件特气接口不锈钢源瓶中央传输系统保险原子层沉积系统喷镀源路1路直通源物理气相沉积系统检测4英寸晶圆内置氧气源臭氧发生器喷镀MAPbI3标配两套内腔节能产品工艺干泵监理预真空腔室高性能真空系统太阳能电池臭氧发生器在线清洗功能配置高温快速隔膜阀非金属源压力传感器配置热阱真空喷镀系统特气源运输吸附反应外延系统碘甲胺保护真空计真空泵真空加热腔配置快速隔膜阀整体设计两路载气系统手动阀鼓泡前驱体源直通液态源反应腔室系统液态前驱体源系统磁控溅射系统控制系统非工艺真空测量吸附反应外延腔室集束型薄膜沉积系统高保型率介电封装材料制备系统项目管理本底分子泵整体辐射加热装置快速高温辐射加热装置气动隔膜阀前级泵
招标公司
中标公司
金额
9.8万元
发布时间
2022/02/23
中标公司
项目地址
广东省
发布时间
2022/01/17
招标公司
项目地址
江苏省
发布时间
2020/09/08
招标公司
中标公司
项目地址
四川省
发布时间
2019/10/01
招标公司
中标公司
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