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含两路载气系统
"含两路载气系统"标讯
招标
原子层沉积系统-西南大学-竞价公告(CM106352024000188)
金额
35万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/12/05
招标产品
多用户权限分配
硅晶圆
外热式单腔腔室
自动控制软件
VCR密封
氧化锡
不锈钢源瓶
机械泵
含两路载气系统
原子层沉积系统
吹扫流量计
残余前驱体源处理热阱
手动隔膜阀
外热式反应腔体
自动控制沉积系统
高性能真空系统
在线清洗功能
前驱体源系统
4U工控机
压力传感器
水源
2路金属源
可视化的操作界面
氧化铝
手动球阀
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
真空泵
真空计
全套管路
自动控制系统
工艺压力实时检测显示
吹扫质量流量计
高精度PLC
招标公司
西南大学
招标
原子层沉积系统
金额
35万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/12/05
招标产品
多用户权限分配
硅晶圆
外热式单腔腔室
自动控制软件
VCR密封
氧化锡
不锈钢源瓶
机械泵
含两路载气系统
原子层沉积系统
吹扫流量计
残余前驱体源处理热阱
手动隔膜阀
外热式反应腔体
自动控制沉积系统
高性能真空系统
在线清洗功能
前驱体源系统
4U工控机
压力传感器
水源
2路金属源
可视化的操作界面
氧化铝
手动球阀
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
真空泵
真空计
全套管路
自动控制系统
工艺压力实时检测显示
吹扫质量流量计
高精度PLC
招标公司
西南大学
中标
大面积原子层沉积系统成交公告
项目地址
广东省
发布时间
2023/11/23
招标产品
椭偏仪
多用户权限分配
工控机沉积自动控制系统
膜厚测试
沉积系统
含两路载气系统
钙钛矿低温SnO2工艺优化设计的主机
前驱体源系统
真空系统
反应腔体
招标公司
南方科技大学
中标公司
佛山菲斯特科技有限公司
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-01928竞采采购公告
金额
98万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/11/16
招标产品
椭偏仪
多用户权限分配
工控机沉积自动控制系统
膜厚测试
含两路载气系统
钙钛矿低温SnO2工艺优化设计的主机
原子层沉积系统
前驱体源系统
真空系统
反应腔体
招标公司
南方科技大学
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