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工艺压力实时检测显示
"工艺压力实时检测显示"标讯
招标
原子层沉积系统
金额
35万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/12/05
招标产品
多用户权限分配
硅晶圆
外热式单腔腔室
自动控制软件
VCR密封
氧化锡
不锈钢源瓶
机械泵
含两路载气系统
原子层沉积系统
吹扫流量计
残余前驱体源处理热阱
手动隔膜阀
外热式反应腔体
自动控制沉积系统
高性能真空系统
在线清洗功能
前驱体源系统
4U工控机
压力传感器
水源
2路金属源
可视化的操作界面
氧化铝
手动球阀
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
真空泵
真空计
全套管路
自动控制系统
工艺压力实时检测显示
吹扫质量流量计
高精度PLC
招标公司
西南大学
招标
原子层沉积系统-西南大学-竞价公告(CM106352024000188)
金额
35万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/12/05
招标产品
多用户权限分配
硅晶圆
外热式单腔腔室
自动控制软件
VCR密封
氧化锡
不锈钢源瓶
机械泵
含两路载气系统
原子层沉积系统
吹扫流量计
残余前驱体源处理热阱
手动隔膜阀
外热式反应腔体
自动控制沉积系统
高性能真空系统
在线清洗功能
前驱体源系统
4U工控机
压力传感器
水源
2路金属源
可视化的操作界面
氧化铝
手动球阀
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
真空泵
真空计
全套管路
自动控制系统
工艺压力实时检测显示
吹扫质量流量计
高精度PLC
招标公司
西南大学
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