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2路带管路加热
"2路带管路加热"标讯
招标
多腔室新型高k金属栅ALD生长系统采购项目招标公告
金额
850万元
项目地址
上海市
发布时间
2023/02/28
招标产品
生长系统
晶圆
PEALD反应腔模块
主要沉积氧化物
氮氧化物
主要沉积氮化物
金属薄膜
转接腔模块
带机械手
手动预真空室
手动送片
T-ALD反应腔模块
沉积氧化铝
氧化铪
氧化锆
氧化物薄膜
前驱体源入口
臭氧源入口
真空系统
罗茨干泵
薄膜电容真空计
前驱体源系统
液体/固体前体源管路
前驱体罐加热
ALD快速脉冲阀
温度传感器
前驱体源管路
2路带管路加热
H2O管路
臭氧管路
臭氧发生器
质量流量控制器
气体探测器
阀门
控制机箱
氧化钛
氮氧铝
样品载物台
涡轮分子泵
1路带管路加热
直抽管路
起泡器管路
颗粒过滤器
等离子体源
自动匹配盒
自动隔离阀
等离子体快门
沉积氮化铝
氮化钛
氮化物薄膜
气体截止阀
自动机械手
控制系统
招标公司
同济大学
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