金额
5.2万元
项目地址
湖北省
发布时间
2024/02/23
金额
1071.94万元
项目地址
上海市
发布时间
2022/12/18
招标产品
吹扫用N2气路技术服务涡轮分子泵介质刻蚀机氧化物或者氮化物介质材料刻蚀专用工具前驱体源入口低温ICP腔体压缩空气可编程逻辑控制器维护常温Bosch腔体运输质量流量控制器备品备件自动节流阀传输腔配电箱射频偏压源重大故障应在72小时内修复设备操作手册原子层沉积腔体真空系统各主要部件手册多腔体真空级联自动匹配网络气路系统配件PLC通过现场总线连接各组件沉积Al2O3防腐蚀使用片盒布置图前驱体源系统感应耦合等离子体刻蚀反应腔等离子体源系统安全互锁金属氮化物沉积反应腔常温Bosch刻蚀腔体带机械手前级泵为干泵仪器各项性能测试报告原理图控制系统性能检验升级软件操作手册紧急停止开关常温Bosch工艺备件预真空室模块应用咨询客户机吹扫氮气远程诊断保险冷却水设备外接用户片盒站模块供电线路实时监测装置自动送片潘宁真空硅远程服务PEALD工艺气体手动送片金属薄膜Bosch工艺套件售后服务设施液氮杜瓦罐工艺气路槽载片器服务器射频源六端口转接腔实时监控沉积氧化物介质低温ICP刻蚀腔体薄膜电容真空计仪器安装调试移机转接腔模块带有高深宽比硅纳米结构的晶圆反应腔模块集成式气路柜维修中心耗材检测低温ICP工艺互联网连接各组件罗茨干泵低温系统设备服务手册深硅刻蚀下电极保养零部件电路图背冷却用He气路带有掩膜层拆装试车自动机械手软件在PC机安装调试DPU
金额
94.95万元
项目地址
内蒙古自治区
发布时间
2022/12/07
招标产品
管路铂片电极45GHz发生器TCD检测器检测器单元流路系统漂移高温ALD阀门标气数据处理系统法规符合性裂解器附件质量控制疏水碳纸定量环电催化CO2数据比较功能柱温箱电化学反应器用户安全管理自动匹配器PDF输出功能支持自建模板不锈钢源瓶催化反应单元人机分离模式操作过滤器QA/QC面板键盘方法学指标铜胶带气液混流泵中文工作站十通阀光热催化反应与控制系统网络化控制真空机械泵系统气线臭氧发生器报告制作超快速脉冲微波等离子体源各种类型的模板文件液流池聚四氟管等离子体气源网络式CDS氢火焰离子化检测器分析微量的CH4六通阀审核追踪回收率用户管理实时时间程序和系统诊断汞氧化汞电极程序升温计算功能双FID检测器原子层沉积系统阳离子交换膜热导丝轻烃C1~C4前驱体源反应腔催化产物检测单元固态微波源系统策略氩气仪器系统检查氢气发生器高精度控制等离子体发生器蠕动泵安全性策略沉积程序控制软件用户权限空压机气相色谱仪理由输入稳流池水管理系统数据存储器微波等离子体系统沉积自动控制系统观察窗加热套自动计算噪音固态银氯化银电极自动进样器阴离子交换膜放空CO2LabSolutionsLC/GC软件远程控制转化产物支持填充柱和毛细管柱可观测气体扩散电解池粉体样品夹具进样单元数据管理系统自动匹配微波等离子体源系统毛细柱进样口软件操作界面热导检测器加热阀箱甲烷转化炉超小型等离体发生装置色谱柱
金额
95万元
发布时间
2022/11/29
招标产品
光热催化反应与控制系统催化剂制备单元原子层沉积系统反应腔前驱体源输运系统超快速脉冲微波等离子体源系统固态微波源等离子体发生器超小型等离体发生装置主机管路高温ALD阀门沉积自动控制系统沉积程序控制软件预装Windows的笔记本电脑加热套源瓶微波等离子体系统自动匹配微波等离子体源系统45GHz发生器自动匹配器等离子体气源粉体样品夹具臭氧发生器裂解器附件真空机械泵系统催化产物检测单元气相色谱仪柱温箱双FID检测器TCD检测器毛细柱进样口甲烷转化炉加热阀箱十通阀六通阀定量环过滤器中文工作站氢气发生器空压机数据存储器自动进样器程序升温检测器单元热导检测器热导丝氢火焰离子化检测器色谱柱流路系统支持填充柱和毛细管柱面板键盘实时时间程序和系统诊断数据处理系统计算功能数据比较功能软件操作界面报告制作各种类型的模板文件支持自建模板PDF输出功能质量控制高精度控制QA/QC自动计算噪音漂移信噪比回收率方法学指标仪器系统检查用户安全管理网络化控制网络式CDS数据管理系统软件远程控制人机分离模式操作法规符合性LabSolutionsLC/GC安全性策略系统策略用户权限用户管理审核追踪理由输入电催化CO2转化产物放空CO2分析微量的CH4轻烃C1~C4催化反应单元电化学反应器可观测气体扩散电解池观察窗水管理系统固态银氯化银电极汞氧化汞电极铂片电极蠕动泵阴离子交换膜阳离子交换膜疏水碳纸铜胶带液流池聚四氟管稳流池气液混流泵
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