"前驱体源"标讯
招标
SG2024005411001真空化学气相反应系统-电子科技大学-竞价公告(CB106142024000114)
金额
39.5万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/10/14
招标产品
全套SWAGELOK管路真空化学气相反应系统可拆卸内反应腔腔室配置SWAGELOK高温快速ALD阀多层热反射装置不锈钢源瓶真空加热腔在线清洗功能两路载气系统水冷循环装置手动阀压差自压合机构常温源配置SWAGELOK快速ALD阀前驱体源
招标公司
电子科技大学
中标
北京怀柔实验室实验平台建设2024年第一批国际设备采购项目
项目地址
北京市
发布时间
2024/06/12
招标产品
硅片实验平台建设反应器前驱体源储存室系统主机加工粉末腔门平面样品国际设备粉末样品臭氧发生器电源控制模块隔离腔支架主机集中供电设备内部或外壁前驱体通道薄膜玻璃观察窗粉末类样品前驱体注入
招标公司
北京怀柔实验室
中标公司
飞纳科学仪器有限公司
招标
桌面式原子层沉积系统（JJ2024000015）采购公告
金额
40万元
项目地址
福建省
发布时间
2024/05/14
招标产品
氧化管路源瓶加热器抽屉式样品装载气体质量流量计腔体衬板真空应用设备真空规粉末样品处理装置桌面式原子层沉积系统一体式工控机真空泵一条清扫气线多组毫秒级ALD阀门飞越油泵前驱体源腔体采用真空腔体
招标公司
清源创新实验室
中标
原子层沉积系统（第二次）成交结果公告
金额
74万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/03/22
招标产品
臭氧系统配件原子层沉积系统真空反应模块前驱体源控制
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
中标公司
成都中科卓尔智能科技集团有限公司
招标
原子层沉积系统（第二次）
金额
80万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/03/12
招标产品
臭氧原子层沉积系统真空反应模块前驱体源真空反应腔体系统
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
招标
原子层沉积系统（第二次）
金额
80万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/03/12
招标产品
原子层沉积系统前驱体源真空反应模块真空反应腔体系统
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
招标
原子层沉积系统
金额
80万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/01/16
招标产品
真空反应腔体系统臭氧系统配件真空腔室原子层沉积系统真空反应模块前驱体源控制
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
招标
原子层沉积系统
金额
80万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/01/16
招标产品
臭氧原子层沉积系统真空反应模块前驱体源真空反应腔体系统
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02178竞采采购公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/25
招标产品
torr电容薄膜镀膜设备氮气清扫气线进样室抽屉式样品装载样品ALD阀门泵后端油雾过滤器臭氧发生器报警及安全控制多工艺菜单存储功能前驱体源源瓶加热器保护真空泵真空规ALD泵前级过滤器腔体内衬板油泵氩气气体质量流量计一体式工控机
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02166终止公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/22
招标产品
镀膜设备前驱体源一条清扫气线源瓶加热器进样室采用抽屉式样品装载样品多组毫秒级ALD阀门ALD阀组气体质量流量计氩/氮气薄膜真空规保护真空泵含泵前段返油过滤器泵后端油雾过滤器腔体衬板ALD泵前级过滤器一体式工控机
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02166竞采采购公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/21
招标产品
进样室采用抽屉式样品装载样品源瓶加热器气体质量流量计腔体衬板保护真空泵ALD泵前级过滤器氩/氮气一体式工控机泵后端油雾过滤器一条清扫气线镀膜设备多组毫秒级ALD阀门ALD阀组薄膜真空规含泵前段返油过滤器前驱体源
招标公司
南方科技大学
中标
原子层气相沉积系统(GY202309248)自购结果公示
金额
47万元
发布时间
2023/12/08
招标产品
含泵前段返油过滤器源瓶加热器气体质量流量计腔体衬板ALD泵前级过滤器torr电容薄膜一体式工控机真空泵进样室采用抽屉式装载样品一条清扫气线ALD阀组薄膜真空规托盘成膜前驱体源原子层气相沉积系统
中标公司
厦门韫茂科技有限公司
中标
大面积原子层沉积系统成交公告
项目地址
广东省
发布时间
2023/11/23
招标产品
椭偏仪多用户权限分配工控机沉积自动控制系统膜厚测试沉积系统含两路载气系统钙钛矿低温SnO2工艺优化设计的主机前驱体源系统真空系统反应腔体
招标公司
南方科技大学
中标公司
佛山菲斯特科技有限公司
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-01928竞采采购公告
金额
98万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/11/16
招标产品
椭偏仪多用户权限分配工控机沉积自动控制系统膜厚测试含两路载气系统钙钛矿低温SnO2工艺优化设计的主机原子层沉积系统前驱体源系统真空系统反应腔体
招标
SG2023006634001ALD原子层沉积系统-电子科技大学-竞价公告(CB106142023000097)
金额
47万元
项目地址
四川省
发布时间
2023/11/09
招标产品
原子层沉积系统具有外热式反应腔体样品台前驱体源系统1路常温源臭氧源具有两路载气系统前驱体源管路高性能真空系统高精度沉积自动控制系统具有3个金属源瓶水源源瓶
中标
原子层气相沉积系统(GY202305996)自购结果公示
金额
47万元
发布时间
2023/10/24
招标产品
原子层气相沉积系统成膜前驱体源源瓶加热器进样室采用抽屉式装载样品ALD阀组气体质量流量计薄膜真空规torr电容薄膜真空泵含泵前段返油过滤器腔体衬板ALD泵前级过滤器一体式工控机托盘
中标公司
厦门韫茂科技有限公司
招标
CLF0123GZ07ZC98原子层沉积系统采购公告
金额
200万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/10/12
招标产品
粉体系统反应腔系统臭氧系统监理规范编制电子招投标系统控制系统原子层沉积系统整体设计真空系统前驱体源输送系统项目管理等离子体系统检测
招标
华南理工大学原子层沉积系统公开招标公告
项目地址
广东省
发布时间
2023/10/12
招标产品
原子层沉积系统货物仪器仪表工艺试验机反应腔系统前驱体源输送系统臭氧系统真空系统控制系统等离子体系统粉体系统主机整体设计规范编制项目管理监理检测电子招投标系统
招标公司
华南理工大学
中标
竞价结果详细（202300116622）----中山大学
发布时间
2023/08/31
招标产品
含臭氧发生器源瓶臭氧系统前驱体源循环系统吸附阱机械泵调节阀循环氧化锡高性能真空系统载气系统swagelok管路太阳能电池研究
招标公司
材料科学与工程学院
中标公司
广东途胜科技有限公司
中标
等离子体增强原子层沉淀系统改造（X2023051）
项目地址
江苏省
发布时间
2023/06/26
招标产品
真空腔体的上方具备独立反应气扩散装置单晶硅片沉淀系统真空泵抽气管仪器设备不锈钢源瓶源瓶系统进口阀门系统改造可加热源管路前驱体源
招标公司
苏州大学采购与招投标管理中心
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