"前驱体源"标讯
招标
西安工业大学2025年01月政府采购意向
金额
150万元
项目地址
陕西省
发布时间
2024/12/20
招标产品
探针台前驱体源输送系统通用光电元器件分析仪阵列成像测试系统ALD设备光子器件封装耦合仪反应腔系统载气辅助源真空系统立体显微镜
招标公司
西安工业大学
招标
原子层沉积系统-西南大学-竞价公告(CM106352024000188)
金额
35万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/12/05
招标产品
多用户权限分配硅晶圆外热式单腔腔室自动控制软件VCR密封氧化锡不锈钢源瓶机械泵含两路载气系统原子层沉积系统吹扫流量计残余前驱体源处理热阱手动隔膜阀外热式反应腔体自动控制沉积系统高性能真空系统在线清洗功能前驱体源系统4U工控机压力传感器水源2路金属源可视化的操作界面氧化铝手动球阀配置SWAGELOK高温快速ALD阀真空泵真空计全套管路自动控制系统工艺压力实时检测显示吹扫质量流量计高精度PLC
招标公司
西南大学
招标
原子层沉积系统
金额
35万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/12/05
招标产品
多用户权限分配硅晶圆外热式单腔腔室自动控制软件VCR密封氧化锡不锈钢源瓶机械泵含两路载气系统原子层沉积系统吹扫流量计残余前驱体源处理热阱手动隔膜阀外热式反应腔体自动控制沉积系统高性能真空系统在线清洗功能前驱体源系统4U工控机压力传感器水源2路金属源可视化的操作界面氧化铝手动球阀配置SWAGELOK高温快速ALD阀真空泵真空计全套管路自动控制系统工艺压力实时检测显示吹扫质量流量计高精度PLC
招标公司
西南大学
招标
西安工业大学2024年12月政府采购意向
金额
150万元
项目地址
陕西省
发布时间
2024/11/21
招标产品
反应腔系统载气辅助源真空系统前驱体源输送系统ALD设备
招标公司
西安工业大学
招标
SG2024005411001真空化学气相反应系统-电子科技大学-竞价公告(CB106142024000114)
金额
39.5万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/10/14
招标产品
全套SWAGELOK管路真空化学气相反应系统可拆卸内反应腔腔室配置SWAGELOK高温快速ALD阀多层热反射装置不锈钢源瓶真空加热腔在线清洗功能两路载气系统水冷循环装置手动阀压差自压合机构常温源配置SWAGELOK快速ALD阀前驱体源
招标公司
电子科技大学
中标
北京怀柔实验室实验平台建设2024年第一批国际设备采购项目
项目地址
北京市
发布时间
2024/06/12
招标产品
硅片实验平台建设反应器前驱体源储存室系统主机加工粉末腔门平面样品国际设备粉末样品臭氧发生器电源控制模块隔离腔支架主机集中供电设备内部或外壁前驱体通道薄膜玻璃观察窗粉末类样品前驱体注入
招标公司
北京怀柔实验室
中标公司
飞纳科学仪器有限公司
招标
桌面式原子层沉积系统（JJ2024000015）采购公告
金额
40万元
项目地址
福建省
发布时间
2024/05/14
招标产品
氧化管路源瓶加热器抽屉式样品装载气体质量流量计腔体衬板真空应用设备真空规粉末样品处理装置桌面式原子层沉积系统一体式工控机真空泵一条清扫气线多组毫秒级ALD阀门飞越油泵前驱体源腔体采用真空腔体
招标公司
清源创新实验室
中标
原子层沉积系统（第二次）成交结果公告
金额
74万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/03/22
招标产品
臭氧系统配件原子层沉积系统真空反应模块前驱体源控制
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
中标公司
成都中科卓尔智能科技集团有限公司
招标
原子层沉积系统（第二次）
金额
80万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/03/12
招标产品
臭氧原子层沉积系统真空反应模块前驱体源真空反应腔体系统
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
招标
原子层沉积系统（第二次）
金额
80万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/03/12
招标产品
原子层沉积系统前驱体源真空反应模块真空反应腔体系统
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
招标
原子层沉积系统
金额
80万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/01/16
招标产品
真空反应腔体系统臭氧系统配件真空腔室原子层沉积系统真空反应模块前驱体源控制
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
招标
原子层沉积系统
金额
80万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/01/16
招标产品
臭氧原子层沉积系统真空反应模块前驱体源真空反应腔体系统
招标公司
中物院成都科学技术发展中心
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02178竞采采购公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/25
招标产品
torr电容薄膜镀膜设备氮气清扫气线进样室抽屉式样品装载样品ALD阀门泵后端油雾过滤器臭氧发生器报警及安全控制多工艺菜单存储功能前驱体源源瓶加热器保护真空泵真空规ALD泵前级过滤器腔体内衬板油泵氩气气体质量流量计一体式工控机
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02166终止公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/22
招标产品
镀膜设备前驱体源一条清扫气线源瓶加热器进样室采用抽屉式样品装载样品多组毫秒级ALD阀门ALD阀组气体质量流量计氩/氮气薄膜真空规保护真空泵含泵前段返油过滤器泵后端油雾过滤器腔体衬板ALD泵前级过滤器一体式工控机
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02166竞采采购公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/21
招标产品
进样室采用抽屉式样品装载样品源瓶加热器气体质量流量计腔体衬板保护真空泵ALD泵前级过滤器氩/氮气一体式工控机泵后端油雾过滤器一条清扫气线镀膜设备多组毫秒级ALD阀门ALD阀组薄膜真空规含泵前段返油过滤器前驱体源
招标公司
南方科技大学
中标
原子层气相沉积系统(GY202309248)自购结果公示
金额
47万元
发布时间
2023/12/08
招标产品
含泵前段返油过滤器源瓶加热器气体质量流量计腔体衬板ALD泵前级过滤器torr电容薄膜一体式工控机真空泵进样室采用抽屉式装载样品一条清扫气线ALD阀组薄膜真空规托盘成膜前驱体源原子层气相沉积系统
招标公司
晶体材料研究所
中标公司
厦门韫茂科技有限公司
中标
大面积原子层沉积系统成交公告
项目地址
广东省
发布时间
2023/11/23
招标产品
椭偏仪多用户权限分配工控机沉积自动控制系统膜厚测试沉积系统含两路载气系统钙钛矿低温SnO2工艺优化设计的主机前驱体源系统真空系统反应腔体
招标公司
南方科技大学
中标公司
佛山菲斯特科技有限公司
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-01928竞采采购公告
金额
98万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/11/16
招标产品
椭偏仪多用户权限分配工控机沉积自动控制系统膜厚测试含两路载气系统钙钛矿低温SnO2工艺优化设计的主机原子层沉积系统前驱体源系统真空系统反应腔体
招标公司
南方科技大学
招标
SG2023006634001ALD原子层沉积系统-电子科技大学-竞价公告(CB106142023000097)
金额
47万元
项目地址
四川省
发布时间
2023/11/09
招标产品
原子层沉积系统具有外热式反应腔体样品台前驱体源系统1路常温源臭氧源具有两路载气系统前驱体源管路高性能真空系统高精度沉积自动控制系统具有3个金属源瓶水源源瓶
招标公司
电子科技大学
中标
原子层气相沉积系统(GY202305996)自购结果公示
金额
47万元
发布时间
2023/10/24
招标产品
原子层气相沉积系统成膜前驱体源源瓶加热器进样室采用抽屉式装载样品ALD阀组气体质量流量计薄膜真空规torr电容薄膜真空泵含泵前段返油过滤器腔体衬板ALD泵前级过滤器一体式工控机托盘
招标公司
晶体材料研究所
中标公司
厦门韫茂科技有限公司
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