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多层热反射装置
"多层热反射装置"标讯
招标
SG2024005411001真空化学气相反应系统-电子科技大学-竞价公告(CB106142024000114)
金额
39.5万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/10/14
招标产品
全套SWAGELOK管路
真空化学气相反应系统
可拆卸内反应腔
腔室
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
多层热反射装置
不锈钢源瓶
真空加热腔
在线清洗功能
两路载气系统
水冷循环装置
手动阀
压差自压合机构
常温源
配置SWAGELOK快速ALD阀
前驱体源
招标公司
电子科技大学
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