电子科技大学 - 竞价公告 (CB106142024000114)
发布时间：2024-10-14 11:08:43 截止时间：2024-10-17 11:18:30
基本信息：
申购主题：SG2024005411001真空化学气相反应系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：合同签订后预付百分之50%，货到验收合格后付50%
送货时间：发布竞价结果后30天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：395000 人民币

收货地址：四川省/成都市/郫都区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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SG2024005411001真空化学气相反应系统

1

395000

科民电子

TALD-150D

1.腔室：独立的内外嵌套双腔结构，内腔安装在外腔内； 2.外腔：真空加热腔，对整个内腔进行加热，外层设置有水冷循环装置；内侧设有多层热反射装置，提高内腔升温效率，易于维护； 3.内腔：可拆卸内反应腔，负责工艺执行。可直接将整个内腔取下更换维护。压差自压合机构可使内腔腔盖与内腔腔体自动压合密封； 4.内腔最大可放置直径6英寸晶圆，向下兼容，标配两套内腔，反应温度最高500℃，温度控制精度±1℃； 5.3路标准加热液态前驱体源，配置swagelok高温快速ALD阀、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃； 6.1路常温源，配置swagelok快速ALD阀、手动阀、50ml不锈钢源瓶； 7.含两路载气系统，全套swagelok管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能； 8.在 6 英寸晶圆上沉积 300 循环氧化铝，以晶圆上至少 5 个均匀分散点，进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1%；

按行业标准提供服务