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压差自压合机构
"压差自压合机构"标讯
招标
SG2024005411001真空化学气相反应系统-电子科技大学-竞价公告(CB106142024000114)
金额
39.5万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/10/14
招标产品
全套SWAGELOK管路
真空化学气相反应系统
可拆卸内反应腔
腔室
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
多层热反射装置
不锈钢源瓶
真空加热腔
在线清洗功能
两路载气系统
水冷循环装置
手动阀
压差自压合机构
常温源
配置SWAGELOK快速ALD阀
前驱体源
招标公司
电子科技大学
招标
原子层沉积系统（JJ20230317）采购公告
项目地址
重庆市
发布时间
2023/02/21
招标产品
进口压力传感器
内置氧气源
加热液态
50ml不锈钢源瓶
载气系统
PLC+工控机
原子层沉积系统
压差自压合机构
沉积自动控制系统
臭氧发生器
全套swagelok管路+VCR密封
臭氧前驱体源
真空规
循环水机
真空泵
真空计
300循环氧化锡
液态前驱体源系统
swagelok高温快速ALD阀
进口机械泵
swagelok快速ALD阀
真空系统
常温源
反应腔室
招标公司
重庆大学
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